[发明专利]物理量传感器

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

具备：

加速度传感器(20)，输出与加速度对应的传感器信号；

角速度传感器(30)，具有用压电材料构成的振动体(312)，在以使上述振动体振动的状态被施加角速度的情况下产生与该角速度对应的电荷，输出与上述电荷对应的传感器信号；

电路基板(40)，对上述角速度传感器及上述加速度传感器进行规定的处理；

收容部(11)，在一面(11a)形成有凹部(13、14)，在上述凹部内收容上述加速度传感器、上述角速度传感器、上述电路基板；以及

防振部(53、55、318)，配置在上述收容部与上述角速度传感器的振动体之间；

上述角速度传感器与上述加速度传感器相分离；

上述电路基板经由第1连接部件(51)配置于上述凹部的底面；

上述加速度传感器经由第2连接部件(52、54)层叠在上述电路基板之上。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

上述加速度传感器与上述电路基板经由线材(62)电连接；

上述第2连接部件(52)将上述加速度传感器和上述电路基板仅机械连接。

3.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

上述加速度传感器与上述电路基板经由上述第2连接部件(54)电连接及机械连接。

4.如权利要求1～3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

上述角速度传感器配置在上述加速度传感器上。

5.如权利要求1～3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

上述角速度传感器配置在上述凹部的底面。

6.如权利要求1～5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

上述防振部(53)是配置在上述角速度传感器与上述收容部之间的粘接剂。

7.如权利要求1～6中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

上述防振部(55)是配置在上述角速度传感器与上述收容部之间的金属部件。

8.如权利要求1～7中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

上述角速度传感器具有配置在上述振动体的周围的外周部(313)，在上述振动体与上述外周部之间形成有作为上述防振部(318)的梁部。