[发明专利]具有带纹理的内表面的离子注入源在审
| 申请号： | 201580030952.0 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN106463318A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 奈尔·卡尔文;谢泽仁 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J27/20 | 分类号： | H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 郭雪茹 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 搜索关键词： | 具有 纹理 表面 离子 注入 | ||
【说明书】：
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