[发明专利]具有平行错位单元的激光材料加工设备

权利要求书

1.一种激光材料加工设备(10)，其具有：

带有至少一个反射镜的射束偏转单元(16)，用于沿着关于待加工的工件(20)的第一方向偏转限定激光束轴的激光束(L)从而在工件表面上引导激光束(L)轨迹；

具有至少三个反射镜(26、28、30)的平行错位单元(14)，用于相对于光轴(oA)沿着第一平行错位方向平行移动激光束，其中，该至少三个反射镜中的一个反射镜(26)可旋转用于激光束的平行错位，且在可旋转的反射镜(26)上实现进入反射和离开反射，其中所述至少三个反射镜中的两个是固定反射镜(28、30)，并且其中平行错位单元(14)被设计成，使得激光束借助于反射镜组件被反射四次，其中平行错位单元(14)被配置为从平行错位单元(14)中放出的激光束根据平行错位单元(14)的可旋转的反射镜(26)的旋转角度相对于彼此平行地被移位；以及

聚焦装置(18)，用于将借助于平行错位单元(14)平行移动的且借助于射束偏转单元(16)被偏转的激光束聚焦到工件(20)上，其中

通过调节借助平行错位单元(14)进行的平行错位能够改变激光束轴在工件上的入射角。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，射束偏转单元(16)具有两个反射镜，所述两个反射镜被这样地布置，使得激光束可沿着第一方向和第二方向偏转。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其中，平行错位单元(14)的镜(26、28、30)被设置成，使得平行错位单元(14)的各镜的镜面上的法线位于一个平面中。

4.根据权利要求1或2所述的设备，其中，设有另一平行错位单元，用于沿着第二平行错位方向平行移动激光束，其中，所述平行错位单元这样地相互光学耦合，使得激光束可沿着两个不同的平行错位方向平行错位。

5.根据权利要求1或2所述的设备，其具有用于移动激光束的焦点位置的装置(36)，该用于移动激光束的焦点位置的装置在激光束的传播方向上被布置在聚焦装置(18)之前。

6.根据权利要求1或2所述的设备，其具有控制装置(24)，该控制装置被设置成，使得执行同步控制射束偏转单元(16)、平行错位单元(14)、聚焦装置(18)、用于移动焦点位置的装置(36)和/或激光源(12)。

7.根据权利要求1或2所述的设备，其具有分光镜(38)，该分光镜在激光束的传播方向上被设置在聚焦装置(18)之前，且所述分光镜被设置成，将激光束和/或通过聚焦装置(18)获取的电磁辐射从激光器光路中耦出。

8.根据权利要求7所述的设备，其具有监测装置，该监测装置与分光镜(38)光学耦合，且该监测装置被设置成获取被耦出的激光束和/或被耦出的电磁辐射。

9.根据权利要求1或2所述的设备，其中，设有用于改变激光束直径的射束成形装置(32)，该射束成形装置在激光束的传播方向上被布置在平行错位单元(14)之前。

10.根据权利要求1或2所述的设备，其中，设有偏振装置(34)，该偏振装置在激光束的传播方向上被布置在平行错位单元(14)之前。

11.根据权利要求1或2所述的设备，其中，射束偏转单元(16)被布置在平行错位单元(14)与聚焦装置(18)之间。

12.根据权利要求1或2所述的设备，其此外具有工件夹具(22)，工件(20)被布置和/或被保持在该工件夹具中。

13.根据权利要求7所述的设备，其中，所述分光镜(38)在激光束的传播方向上被直接设置在聚焦装置(18)之前。

14.根据权利要求11所述的设备，其中，射束偏转单元(16)被直接布置在平行错位单元(14)之后。