[发明专利]用于光束扫描显微镜检查的设备和方法有效
| 申请号： | 201580032136.3 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN106461458B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | E·弗勒泰尔;D·安德雷泽尤斯基;R·布瓦丹;P·德贝蒂尼 | 申请（专利权）人： | 堀场乔宾伊冯公司 |
| 主分类号： | G01J3/06 | 分类号： | G01J3/06;G01J3/44;G02B21/00;G02B26/10;G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 姜利芳;杨晓光 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光束 扫描 显微镜 检查 设备 方法 | ||
【说明书】：
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