[发明专利]电弧蒸发源有效
| 申请号： | 201580033266.9 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN106460159B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 黑川好德;广田悟史;谷藤信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;刘林华 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社神户制钢所，未经株式会社神户制钢所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580033266.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有降低的相对体磨损的摩擦学系统
- 下一篇：W-Ti溅射靶
- 同类专利
- 专利分类
