[发明专利]等离子体扩散器有效
| 申请号： | 201580033372.7 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN106460308B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | F.莱盖因;E.罗格;G.费斯 | 申请（专利权）人： | 欧洲等离子公司 |
| 主分类号： | D06M10/02 | 分类号： | D06M10/02;D06M10/10;D06M14/18;D06M14/32;D06M15/277;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;孙梵 |
| 地址： | 比利时奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 扩散器 | ||
【说明书】：
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