[发明专利]在基板上进行激光烧蚀的设备及方法

权利要求书

1.一种用于在基板(18)上进行激光烧蚀的设备(50)，所述设备包括：

固态激光器(52)，被配置为提供脉冲激光束；

可编程的空间光调制器(54)，被配置为根据由输入到所述调制器(54)的控制信号所限定的图案来调制所述脉冲激光束；

扫描系统(56)，被配置为在第一成像平面(101)中多个可能的位置之一处选择性地形成所述图案的图像；以及

控制器(60)，被配置为控制所述扫描系统(56)和空间光调制器(54)，以在所述第一成像平面(101)的不同位置处按顺序形成所述图案的多个图像，其特征在于：

所述设备(50)进一步包括投影系统(62)，所述投影系统被配置为使在所述第一成像平面(101)中形成的图像缩小，并将缩小的图像投影到第二成像平面中(102)的基板(18)上；

所述投影系统(62)被配置为将在所述第一成像平面(101)的不同位置处形成的所述图案的多个图像投影至所述基板(18)上对应的多个位置上；以及

所述投影系统(62)的最终元件被配置为在所述第一成像平面(101)中的不同位置处形成所述图案的多个图像时相对于所述空间光调制器(54)保持静止。

2.根据权利要求1所述的设备(50)，进一步包括传感器(64)，所述传感器被配置为测量在所述第一成像平面(101)中形成的所述图像的性质，其中，所述控制器(60)被配置为使用由所述传感器(64)测得的测量性质来控制所述空间光调制器(54)和所述扫描系统(56)中的一者或两者的运行。

3.根据前述权利要求中任一项所述的设备(50)，其中，所述扫描系统(56)被配置为使在所述第一成像平面(101)中形成的所述图案的所述图像相对于所述空间光调制器(54)处的所述图案是缩小的。

4.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，所述控制器(60)被配置为使所述顺序中的每个图像能够由来自所述固态激光器(52)的不同的单个脉冲形成。

5.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，所述可编程的空间光调制器(54)被配置为能够在所述固态激光器(52)的连续脉冲之间根据不同的图案调制所述脉冲激光束，使得从一个脉冲到下一个脉冲时，所述图案能发生改变。

6.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，所述控制器(60)被配置为控制所述空间光调制器(54)以根据在所述第一成像平面(101)中待形成图案的位置来改变在所述第一成像平面(101)中待形成的图案。

7.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，在所述可编程的空间光调制器(54)的参考系中，所述不同位置彼此不同。

8.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，所述扫描系统(56)使得所述第一成像平面(101)中多个可能的位置是在所述可编程的空间光调制器(54)的参考系中彼此不同的多个位置，其中，在所述多个可能的位置处，所述扫描系统(56)能形成所述图案的所述图像。

9.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，所述扫描系统(56)包括二维光束扫描器。

10.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，所述可编程的空间光调制器(54)包括多个独立可寻址的元件。

11.根据权利要求10所述的设备(50)，其中，所述可编程的空间光调制器(54)包括独立可寻址的元件的二维阵列。

12.根据权利要求1或2所述的设备(50)，其中，所述可编程的空间光调制器(54)被配置为在所述第一成像平面(101)的不同位置处形成所述图案的多个图像期间保持静止。