[发明专利]流体控制器

说明书

本发明提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。本发明的流体控制器具备用于设定伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元(10)，还具备使伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量在上限值以下的范围内变化的阀杆上下移动量微调整单元(11)。

技术领域

本发明涉及一种流体控制器，尤其涉及一种适于在连续性地重复开闭的用途中使用的流体控制器。

背景技术

作为一种在连续性地重复开闭的用途中使用的流体控制器，已知一种被称为直接接触式隔膜阀(专利文献1)。

这样的流体控制器采取气动式，常用于半导体制造装置，要求能够应对高温且具有高耐久性。另外，其一般会在多条管线中使用，这种情况下，还要求消除每条气体管线的流量(Cv值)之间的差。

在专利文献1的流体控制器中，为了确保其耐久性(连续开闭动作次数)，还提出了将伴随着开闭的阀杆上下移动量(隔膜的变形量)设定为所需值。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2007-64333号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

根据各气体管线中的阀的位置和阀的个体差异，其各自的流量(Cv值)都稍微有所不同。尤其在半导体制造装置的情况下，靠近腔室使用的阀根据其Cv值，会直接影响所制造的半导体。然而，若配合气体管线等相应地逐个调整阀的Cv值，则可能会出现调整至比能够确保阀的耐久性的阀杆上下移动量更大的移动量的个体。由此，隔膜(和阀)的耐久性可能会降低。即，在确保耐久性的基础上，存在能够进行流量调整的情况。对于Cv值的调整量，在用一个调整结构进行调整的情况下，无法进行如下确认：调整时的阀杆的上下移动量变更了何种程度、调整的结果是否比能够确保耐久性的阀杆的上下移动量更大。

本发明的目的在于，提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。

(二)技术方案

本发明的流体控制器的特征在于，具备：设置有流体通路的主体、设置于主体上方的阀盖、设置于阀盖上方的壳体、开闭流体通路的阀体、通过上升或下降使阀体向打开或关闭方向移动的阀杆、以及使阀杆上下移动的致动器，在所述流体控制器中，具备：用于设定伴随着开闭的阀杆的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元、以及能够对伴随着开闭的阀杆的上下移动量在上限值以下的范围内进行调整的阀杆上下移动量微调整单元。

由于能够通过阀杆上下移动量上限值设定单元来设定阀杆上下移动量的上限值，因此阀杆上下移动量通过微调整，能够使得无法将移动量设定为能确保耐久性的上限以上。这里，通过调整阀杆上下移动量来决定Cv值。这里，关于Cv值，需要进行微调整，该微调整是通过由阀杆上下移动量微调整单元使其在预先设定的阀杆上下移动量的上限值以下的范围内变化来进行的。通过该微调整，能够将Cv值高精度地设定为目标值。Cv值随着使用而变化，在需要调整Cv值时，也通过阀杆上下移动量微调整单元来对阀杆上下移动量进行微调整。因此，在调整Cv值时，阀杆上下移动量不会设定得超过用于确保耐久性的阀杆上下移动量上限值。由此，能够在确保耐久性的基础上，进行高精度的流量调整。

通过阀杆上下移动量上限值设定单元所设定的阀杆上下移动量的上限值，在流体控制器出厂时被设定，在使用状态下，维持在出厂时的设定值。通过阀杆上下移动量微调整单元所调整的阀杆上下移动量在流体控制器出厂时被临时设定，在使用状态下，由使用者来将其设定为合理值。

流体控制器采用例如金属隔膜阀，但并不限定于此。另外，流体控制器可以是正常时处于关闭状态，也可以是正常时处于打开状态。