[发明专利]图案描绘装置、图案描绘方法、器件制造方法、激光光源装置、光束扫描装置及方法有效
| 申请号： | 201580034744.8 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN106489093B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12;G02B26/10;G02F1/03;G02F1/11;G02F1/37;G03F7/20;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 描绘 装置 方法 器件 制造 激光 光源 光束 扫描 | ||
【权利要求书】：
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