[发明专利]扩散泵

权利要求书

1.一种扩散泵，包括：

外罩，

沸腾室，其连接到所述外罩，

加热元件，其布置在所述沸腾室的区域中；

排气口，其布置在外罩中并且连接到所述沸腾室，

冷凝器，其布置在所述排气口的区域中、所述外罩的内表面处，以及

冷却系统，其配置用于对所述冷凝器进行冷却并且布置在所述冷凝器的区域中，

其特征在于，

所述冷凝器的所述冷却系统经由热泵连接到所述加热元件，使得从所述冷凝器处的热传送至加热元件。

2.根据权利要求1所述的扩散泵，其中提供温度测量装置，该温度测量装置测量冷凝器温度，其中所述温度测量装置连接到冷凝器冷却系统调节器，以用于对所述冷凝器的所述冷却系统进行调节。

3.根据权利要求1所述的扩散泵，其中提供连接到所述加热元件的加热元件调节器，用于针对泵浦情形调整所述加热元件的热输出。

4.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述沸腾室通过隔离器与所述冷凝器热隔离，并且所述隔离器包括塑料材料或陶瓷材料。

5.根据权利要求4所述的扩散泵，其特征在于所述塑料材料是PEEK或PTFE。

6.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述沸腾室完全热隔离于周边环境。

7.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于从所述排气口径向间隔开的蒸汽屏障，其中所述蒸汽屏障包括独立于所述冷凝器的所述冷却系统的蒸汽屏障冷却系统。

8.根据权利要求7所述的扩散泵，其特征在于所述蒸汽屏障和所述冷凝器之间的温差大于20℃。

9.根据权利要求7所述的扩散泵，其特征在于所述蒸汽屏障具有20℃-30℃的温度，并且所述冷凝器的高真空侧区域具有20℃-30℃的温度。

10.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于布置在所述排气口和所述沸腾室之间的前级真空支路，其中所述前级真空支路包括冷却系统。

11.根据权利要求10所述的扩散泵，其特征在于所述前级真空支路的所述冷却系统独立于所述冷凝器的冷却系统。

12.根据权利要求10所述的扩散泵，其特征在于，所述前级真空支路和/或蒸汽屏障的冷却系统至少部分地是水冷却系统。

13.根据权利要求2所述的扩散泵，其特征在于所述冷凝器冷却系统调节器包括恒温阀。

14.根据权利要求13所述的扩散泵，其特征在于所述冷凝器冷却系统调节器包括紧急装置，其中所述紧急装置确保冷凝器的最小冷却。

15.根据权利要求14所述的扩散泵，其特征在于所述紧急装置通过所述恒温阀的旁路确保冷凝器的最小冷却。

16.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于，所述热泵的蒸发器连接至所述冷凝器的所述冷却系统，并且所述热泵的冷凝器连接到加热元件。

17.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述热泵被配置成压缩式热泵或吸收式热泵。

18.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述冷凝器的所述冷却系统通过水冷却系统和热泵二者来实现。

19.根据权利要求1所述的扩散泵，其特征在于所述冷凝器的高真空侧区域包括水冷却系统并且所述冷凝器的相邻于加热元件方向上的区域连接到所述热泵。