[发明专利]电子显微镜及试样的观察方法

权利要求书

1.一种电子显微镜，其特征在于，具有：

电子源，该电子源对试样照射电子束；

试样台架，该试样台架保持所述试样；

驱动部，该驱动部驱动所述试样台架；

检测部，该检测部获取通过照射该电子束而从试样处获得的信号，并检测试样像和所述试样的电子束衍射图案；

显示部，该显示部显示所述试样的电子束衍射图案；以及

控制部，

所述控制部具有：

图案设定部，该图案设定部基于显示在所述显示部上的电子束衍射图案中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案；以及

矢量设定部，该矢量设定部设定显示为以该显示的圆形图案的中心位置为起点且以位于所述圆形图案的圆周上的主斑点的位置为终点的矢量，

基于该显示的矢量的方向及大小，控制所述驱动部，以使所述试样倾斜。

2.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述图案设定部设定为以将所述拟合用圆形图案显示在所述亮度分布所在的区域的内侧。

3.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述图案设定部变更所述圆形图案的大小。

4.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述控制部基于通过所述矢量设定部设定的矢量的方向来求出所述试样的倾斜方向，并基于所述矢量的大小来求出所述试样的倾斜角度。

5.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述控制部在使所述试样倾斜时切换观察模式，以使由该检测部检测出的试样像显示在所述显示部。

6.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

具有偏向器，该偏向器使所述电子束的照射区域偏向，

所述控制部控制所述偏向器，以对倾斜所述试样时产生的视野偏移进行校正。

7.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述图案设定部

基于显示在所述显示部上的电子束衍射图案中的衍射斑点的亮度分布，设定拟合用圆弧状图案来代替所述拟合用圆形图案，该拟合用圆弧状图案形成以主斑点位于圆周上的方式重叠显示的所述圆形图案的圆周的一部分，

所述矢量设定部

基于该显示的圆弧状图案的圆周上的任意2点的坐标，求出所述圆形图案的半径，

基于该求得的半径，设定所述圆形图案的中心位置，设定显示为以该设定的中心位置为起点且以位于所述圆形图案的圆周上的主斑点的位置为终点的矢量。

8.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述图案设定部将所述拟合用圆形图案设定为半透明的带状。

9.一种试样的观察方法，其特征在于，使用的电子显微镜具有：

电子源，该电子源对试样照射电子束；

试样台架，该试样台架保持所述试样；

驱动部，该驱动部驱动所述试样台架；

检测部，该检测部获取通过照射该电子束而从试样处获得的信号，并检测试样像和所述试样的电子束衍射图案；

显示部，该显示部显示所述试样的电子束衍射图案；以及

控制部，

所述试样的观察方法具有：

基于显示在所述显示部上的电子束衍射图案中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案的步骤；

设定显示为以该显示的圆形图案的中心位置为起点且以位于所述圆形图案的圆周上的主斑点的位置为终点的矢量的步骤；以及

基于该显示的矢量的方向及大小，使所述试样倾斜的步骤。