[发明专利]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，

具备：

热处理室，在内部对被处理物进行加热处理；

隔热材料，配置在该热处理室的内部，并且包围所述被处理物的容纳区域，其中，

所述热处理室具备热处理室主体和能够相对于该热处理室主体拆装的盖部，

所述隔热材料具备隔热材料主体和能够相对于该隔热材料主体拆装的隔热材料盖部，

所述隔热材料盖部相对于所述盖部一体化形成，

所述热处理室主体的一部分构成所述热处理室的侧壁部，

所述热处理装置具备加热器单元，所述加热器单元具有：所述侧壁部的上部、以及经由支承部而支承于所述侧壁部的上部且配置在所述热处理室的内部的加热器，

所述加热器单元能够相对于盖部单元与基部单元拆装，所述盖部单元具有所述盖部以及所述隔热材料盖部，所述基部单元具有所述侧壁部的下部以及所述隔热材料主体。

2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

所述盖部能够相对于所述侧壁部的上部拆装，

所述隔热材料具备配置在所述热处理室的所述盖部的内侧的顶板部，

所述隔热材料盖部构成所述顶板部的至少一部分。

3.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

所述隔热材料盖部形成为端缘面是锥面的板状，

所述隔热材料主体具备框部，所述框部具有与所述隔热材料盖部的端缘面进行面接触的锥面。

4.如权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，

所述隔热材料盖部形成为端缘面是锥面的板状，

所述顶板部具备框部，所述框部具有与所述隔热材料盖部的端缘面进行面接触的锥面。

5.如权利要求3所述的热处理装置，其特征在于，所述隔热材料盖部形成为圆周面是锥面的圆板状。

6.如权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述隔热材料盖部形成为圆周面是锥面的圆板状。