[发明专利]在利用发射场工作的传感器上的固体声退耦

权利要求书

1.一种用于检测依赖于待测量的物理量(16)的物理发射场(32，38)的传感器(14)，包括：

-传感器电路(46)，用于检测发射场(32，38)和用于输出依赖于发射场(32，38)的传感器信号(26，28)，

-电路载体(48)，具有：第一区域(68)，在该第一区域中承载传感器电路(46)的至少一部分(34)；和第二区域(70)，在该第二区域中至少布置有第一机械接口(52)和第二机械接口(52)，用于将电路载体(48)连接到保持架(56)上，和

-布置在第一区域(68)与第二区域(70)之间的声阻元件(66)，该声阻元件被设置用于，将通过第一机械接口(52)进入的固体声(64)传导到第二机械接口(52)，

其特征在于，传感器(14)包括机械退耦元件(51，74)，该机械退耦元件包围电路载体(48)的第一区域(68)、传感器电路(48)并至少部分地包围声阻元件(66)。

2.根据权利要求1所述的传感器(14)，其特征在于，电路载体(48)被设计为引线框架(48)，声阻元件(66)被设计为引线框架(48)中的狭槽(66)。

3.根据权利要求2所述的传感器(14)，其特征在于，狭槽(66)被设计为围绕第一区域(68)，第二区域(70)与第一区域(68)通过至少一个接腿(72)连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器(14)，其特征在于，所述机械退耦元件(51，74)包括球顶状-质量体(51)。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器(14)，其特征在于，所述机械退耦元件(51，74)包括声退耦薄膜(74)，在该声退耦薄膜上承载电路载体(48)的第一区域(68)。

6.根据权利要求5所述的传感器(14)，其特征在于，电路载体(48)的第一区域(68)被接纳在球顶状-质量体(51)与声退耦薄膜(74)之间。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器(14)，其特征在于，在两个机械接口(52)中的至少一个上施加基准电位(82)。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器(14)，包括退耦构件(74)，在该退耦构件上承载传感器电路(46)的至少一部分(30，36)。

9.根据权利要求8所述的传感器(14)，其特征在于，退耦构件(74)是声退耦薄膜(74)。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器(14)，包括保护质量体(52)，该保护质量体包围传感器电路(46)、电路载体(48)的第一区域(68)和电路载体(68)的第二区域(70)的至少一部分。