[发明专利]用于干燥工件的设备

权利要求书

1.用于干燥工件(12)的设备(10，100，200，300，400，500，600)，所述工件被用液态的介质加载，

具有用于容纳至少一个要干燥的工件(12)的工件容纳区(24，124，224，324，424，524，624)，

其特征在于，

工件容纳区(24，124，224，324，424，524，624)构造在可流体密封地封闭的真空室(14，114，214，314，414，514)中，并且设置了用于对真空室(14，114，214，314，414，514)抽真空的抽真空装置(16)，所述抽真空装置包含能够与真空室(14)连接的抽吸泵(18)，

其中

工件容纳区(24，124，224，324，424，524，624)位于用于围住要干燥的工件(12)的外壳(26，126，226，326，426，526，626)中，所述外壳具有外壳壁，所述外壳壁具有至少一个用于气态的流体的通孔(72，172，272，372，472，572)，其中，所述外壳(26，126，226，326，426，526，626)具有抽吸接头(40，140，240，340，440，540，640)，所述抽吸接头通过流体管道(42)与抽吸装置(32)连接,

并且通过用抽吸装置(32)抽吸抽吸管道(42)可以在外壳(26)的抽吸接头(40)处产生负压，该负压引起进入到抽吸管道(42)中的流体流(28)，它加载布置在工件容纳区(24，124，224，324，444，524，624)中的工件(12)。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述抽吸装置具有真空容器（34），该真空容器可通过布置在所述抽吸管道(42)中的、用于释放和封闭抽吸管道(42)的阀(44，144，244，344，444，544，644)进行通风，以在抽吸接头(40，140，240，340，440，540，640)处产生负压。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，气态的流体借助于抽吸装置(32)通过在抽吸接头(40，140，240，340，440，540，640)处产生负压可以通过至少一个通孔(72，172，272，372，472，572)被抽吸到外壳(26，126，226，326，426，526)中。

4.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，抽真空装置(16)也用于对真空容器(34)抽真空。

5.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述阀设计成瓣阀(44，144，244，344，444，544，644)。

6.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，用于对真空室(14，114，214，314，414，514)抽真空的抽真空装置(16)包含通过一个流体管道(20)在抽吸侧与真空室(14)连接的抽吸泵(18)。

7.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于包括一个通向抽吸泵(18)的与流体管道(20)在抽吸侧连通的、用于对真空容器(34)抽真空的管道(36)。

8.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于所述设备包括一个用于对真空室(114，214，314，414，514)通风的通风装置(115'，215'，315'，415'，515'，615')。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，通风装置(115'，215'，315'，415'，515'，615')包含阀(121，221，321，421，521，621)，所述阀有选择地释放或封闭通到真空室(114)的内部中的用于流体的流动路径。

10.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，在真空室(214)中的外壳(226)隧道形地构造并且设置一个线性运动装置(224)，其用于将工件(212)通过外壳(226)从真空室(214)的一个第一可封闭的开口线性地移动到真空室(214)的与第一开口相对置的另一个开口。