[发明专利]光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201580038638.7 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106537256B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | G·纳齐博格鲁;F·J·J·范鲍克斯台尔;T·P·H·沃马丹;J·S·C·维斯特尔拉肯;J·P·科洛斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 器件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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