[发明专利]自组装单分子膜的图案化装置、光照射装置、以及自组装单分子膜的图案化方法有效
| 申请号： | 201580038998.7 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN106537553B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 大和田树志;铃木信二 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J61/90 | 分类号： | H01J61/90;B01J19/12;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 胡建新;朴勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 紫外光 光源 装置 照射 以及 组装 分子 图案 方法 | ||
【权利要求书】：
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