[发明专利]离心减除设备

权利要求书

1.一种用于处理来自半导体过程工具的流出物流的减除设备，所述减除设备包括：

第一处理级，所述第一处理级能够操作以燃烧所述流出物流以提供经燃烧的流出物流，并且以用水处理所述经燃烧的流出物流以提供第一级经处理流出物流，所述第一级经处理流出物流包括经处理流体以及燃烧颗粒和水；以及

第二处理级，所述第二处理级能够操作以在进口接收所述第一级经处理流出物流，并且以从所述经处理流体离心地分离出至少一些所述燃烧颗粒和所述水，所述经处理流体在经处理流体出口被提供作为第二级经处理流出物流，所述进口位于所述第一处理级的主冷却腔室和所述第二处理级的腔室之间。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第二处理级包括离心分离器，所述离心分离器具有：与所述第一处理级联接的用于接收所述第一级经处理流出物流的所述进口、用于提供所述第二级经处理流出物流的所述经处理流体出口、以及用于提供从所述经处理流体分离出的所述燃烧颗粒和所述水的颗粒出口。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述离心分离器包括所述腔室，所述腔室为由通过边缘联接的基板和相对板限定的圆柱形腔室。

4.根据权利要求2或3所述的设备，其中，所述离心分离器包括径流式风扇和离心颗粒分离器中的至少一个。

5.根据权利要求3所述的设备，其中，所述离心分离器包括径流式风扇和离心颗粒分离器中的至少一个，并且其中，所述径流式风扇能够旋转并且包括从所述进口朝着所述边缘延伸的多个叶片。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述叶片朝着所述边缘逐渐变小。

7.根据权利要求5或6所述的设备，其中，所述叶片在所述边缘之前终止以限定蜗室，被所述叶片加速的所述第一级经处理流出物流接收在所述蜗室中。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述蜗室的壁配置为携带所述燃烧颗粒和所述水以从所述经处理流体分离出所述燃烧颗粒和所述水。

9.根据权利要求5或6所述的设备，其中，所述颗粒出口设置为靠近所述边缘和所述叶片的端部中的至少一个。

10.根据权利要求5或6所述的设备，其中，所述经处理流体出口设置为靠近所述边缘和所述叶片的端部中的至少一个。

11.根据权利要求3所述的设备，其中，所述离心分离器包括径流式风扇和离心颗粒分离器中的至少一个，并且其中，所述离心颗粒分离器能够旋转并且包括多个导管，所述导管轴向地延伸靠近所述边缘以接收所述第一级经处理流出物流。

12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述导管的壁配置为携带所述燃烧颗粒和所述水，以在所述导管的旋转期间当所述第一级经处理流出物流被输送通过所述导管时，从所述经处理流体分离出所述燃烧颗粒和所述水。

13.根据权利要求12所述的设备，其中，每个导管包括：用于接收所述第一级经处理流出物流的导管进口，以及作为用于排出所述经处理流体的所述出口的导管出口，被所述导管的所述壁携带的所述燃烧颗粒和所述水通过所述进口排回。

14.根据权利要求11或12所述的设备，其中，所述导管形成在沿着所述边缘延伸的环形体内。

15.根据权利要求4所述的设备，其中，所述第二处理级包括所述径流式风扇和所述离心颗粒分离器。

16.根据权利要求8所述的设备，其中，从被所述径流式风扇的所述蜗室的所述壁携带的所述燃烧颗粒和所述水分离出的经处理流体被输送至所述离心颗粒分离器的导管。