[发明专利]提取被周期性图案遮盖的非周期性图案的方法及执行该方法的装置在审
| 申请号： | 201580040396.5 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106575356A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 伯努瓦·图伊 | 申请（专利权）人： | FOGALE纳米技术公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G06T5/00;G06T5/10;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 谢攀,刘继富 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提取 周期性 图案 遮盖 方法 执行 装置 | ||
【说明书】：
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