[发明专利]物理量检测装置

说明书

为了实现传感器特性提高和抑制特性变化，通过在湿度传感器的上游配置压力传感器，减少湿度传感器的沾水、粘尘。本发明的物理量检测装置(300)的特征在于，包括：检测湿度的检测部(422)；检测压力的检测部(421)；具有处理检测信号的电子电路的电路基板(400)；和容纳电路基板(400)的壳体(302)，上述检测部(422、421)在电路基板面(400)沿被测量气体的流动方向配置在直线上，在检测湿度的检测部(422)的上游配置检测压力的检测部(421)。

技术领域

本发明涉及内燃机的吸入空气的物理量检测装置。

背景技术

专利文献1中展示了如下的热式空气流量传感器的结构：具有用于测量空气流量的流量传感器元件和测量物理量的环境传感器元件，流量传感器元件配置在副通路，在与副通路隔开间隔的测量室中配置环境传感器，环境传感器配置得比流量传感器靠主空气流中心侧。专利文献1中，作为环境传感器元件，在共用的半导体基板上一体地形成有湿度传感器元件、压力传感器元件、温度传感器元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-151795号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1所述在半导体基板上一体地形成湿度传感器元件和压力传感器元件的结构中，存在水滴或尘埃混在空气流中流入而附着于各元件的可能性。尤其是湿度传感器元件，如果水滴附着，则存在水滴干燥之前妨碍正确的测量的隐患。而且存在因尘埃附着于湿度传感器元件而使特性变化的隐患。为了提高湿度传感器元件的检测精度和降低尘埃导致的特性变化，需要采用水滴、尘埃不易到达湿度传感器元件的结构。

本发明鉴于上述点而提出，其目的为提供能够减少水、尘埃对湿度传感器元件的附着的物理量检测装置。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述问题，本发明的物理量检测装置的特征在于：将湿度传感器元件和温度传感器元件配置在同一电路基板上，将上述湿度传感器元件和压力传感器元件配置在同一通路的流线上，在上述湿度传感器元件的上游配置至少一个上述压力传感器元件。

发明效果

通过本发明，能够以简单的结构减少湿度传感器元件的粘水、粘尘。此外，除此之外的问题、结构和效果通过以下实施方式的说明可得以明了。

附图说明

图1是表示内燃机控制系统中使用本发明的物理量检测装置的一个实施例的系统图。

图2是物理量检测装置的主视图。

图3是物理量检测装置的后视图。

图4是物理量检测装置的左侧视图。

图5是物理量检测装置的右侧视图。

图6是物理量检测装置的仰视图。

图7是表示从物理量检测装置取下正面罩后的状态的主视图。

图8A是表示从物理量检测装置取下背面罩后的状态的后视图。

图8B说明其它实施例的后视图。

图8C说明其它实施例的后视图。

图8D说明其它实施例的后视图。

图8E说明其它实施例的后视图。

图9是图7的A-A截面向视图。

图10是说明正面罩的结构的图。

图11是说明背面罩的结构的图。