[发明专利]包覆工具的制造方法有效
| 申请号： | 201580040994.2 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106661716B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 沙勒·阿布苏里克 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;B21D37/01;B21D37/20;B23B27/14;B23B27/20;C23C14/02;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工具 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种包覆工具的制造方法，其特征在于，其为利用过滤电弧离子镀法在基材的表面形成类金刚石碳覆膜的方法，所述包覆工具的制造方法包括以下工序：
第1工序：将施加于设置于炉内的基材的负偏压设为-2500V以上且-1500V以下，向所述炉内导入含氢气的混合气体，对所述基材的表面进行气体轰击处理；以及
第2工序：在所述气体轰击处理后向所述炉内导入氮气，向石墨靶投入电流，从而在所述基材的表面形成类金刚石碳覆膜，
在所述第2工序中，包括：使所述氮气的流量减少的工序；和使向所述石墨靶投入的电流增加的工序。
2.根据权利要求1所述的包覆工具的制造方法，其特征在于，所述类金刚石碳覆膜的膜厚为2.0μm以上。
3.根据权利要求1或2所述的包覆工具的制造方法，其特征在于，在使向所述石墨靶投入的电流增加的工序中，使向所述石墨靶投入的电流增加总计40A以上。
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