[发明专利]外延晶片及其制造方法有效
| 申请号： | 201580041319.1 | 申请日： | 2015-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106574397B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 西口太郎;玄番润;伊东洋典;畑山智亮;土井秀之 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C23C16/32;H01L21/20;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外延 晶片 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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