[发明专利]用于半导体电路图案干燥的置换液体及干燥方法在审
| 申请号： | 201580042370.4 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN106575089A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 菊地秀明;松本刚德;伊藤未希 | 申请（专利权）人： | 杜邦三井氟化物有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 王伦伟,周齐宏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 电路 图案 干燥 置换 液体 方法 | ||
【说明书】：
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