[发明专利]传感器以及用于制造传感器的方法

权利要求书

1.用于在功能层的表面上制造传感器的方法，其中传感器材料至少部分地在激光射束中熔化并且接着被施加到所述功能层的表面上，其特征在于，

- 使用聚焦的激光，所述激光的入射定向到衬底上，

- 通过同轴输送来将所述传感器材料输送给所述激光射束，

- 在施加所述传感器材料期间，调节所述功能层的表面温度，使得所述表面温度比所述功能层的熔化温度低，

- 其中所述功能层的表面温度的调节通过热输入的限制来实现，所述热输入的限制通过激光射束的通过工艺粉末的遮挡引起，

- 将所述工艺粉末的在激光点的区域中熔化的部分沉积在所述功能层的表面上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中相比聚焦的激光射束的横截面更大地选择所述传感器材料的输送在衬底平面上的焦点横截面。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中作为功能层使用陶瓷热隔绝层、绝缘层、氧化或者腐蚀保护层或环境稳定的保护层。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中在保护气体氛围下施加所述传感器材料。

5.根据权利要求4所述的方法，其中使用氩气作为保护气体。

6.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中作为传感器材料使用具有在1μm和200μm之间的平均颗粒直径的粉末。

7.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中所施加的传感器的结构横截面相比所述功能层的尺寸是小的。

8.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中作为传感器材料使用铂、铁、铜镍合金、铂铑合金、镍铬合金、钨铼合金、CrNi-钢、镍、Ni-20Cr、Cu-45Ni、Pd-13Cr、Cu-12Mn-2Ni、钛酸钡陶瓷或者锆钛酸铅陶瓷（PZT）、石英、电气石、磷化镓或者铌酸锂。

9.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中制造温度传感器、压力传感器、应力传感器或者加速度传感器。

10.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中通过另一层的施加来至少部分地嵌入在所述功能层的表面上施加的传感器。

11.根据权利要求10所述的方法，其中作为另一层施加另外的功能层。

12.根据权利要求3所述的方法，其中所述环境稳定的保护层是热保护层。

13.根据权利要求6所述的方法，其中所述平均颗粒直径在2μm和50μm之间。

14.一种传感器，其特征在于，所述传感器布置在功能层的表面上并且通过根据权利要求1至13中任一项所述的方法制造。

15.根据权利要求14所述的传感器，其中所述传感器是温度传感器、压力传感器、应力传感器或者加速度传感器。

16.根据权利要求14至15中任一项所述的传感器，其中所施加的传感器材料不中断地并且无孔地设计。