[发明专利]氧化铝基板有效
| 申请号： | 201580042829.0 | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN106661761B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 山泽和人;大井户敦;川崎克己 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B19/12;C30B25/18;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;伍飏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化铝 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化铝基板，其特征在于：
在所述氧化铝基板表面上形成有AlN层，并且在AlN层与所述氧化铝基板的界面上形成有稀土含有层以及/或者稀土含有区域，
稀土元素的含量以Al元素比计为1～10000ppm。
2.如权利要求1所述的氧化铝基板，其特征在于：
AlN层的厚度为0.02μm～100μm。
3.如权利要求1或2所述的氧化铝基板，其特征在于：
氧化铝基板为蓝宝石。
4.如权利要求3所述的氧化铝基板，其特征在于：
AlN层是单晶。
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