[发明专利]扫描式电子显微镜及检验及复检样本的方法有效
| 申请号： | 201580042995.0 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN106575594B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 戴维·L·布朗;勇-霍·亚历克斯·庄;约翰·费尔登;马塞尔·特伦颇;张璟璟;德维斯·孔塔拉托;芬卡特拉曼·伊艾 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 检验 复检 样本 方法 | ||
【权利要求书】：
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