[发明专利]以其他方式用于填充单元、抽头单元、解耦电容器单元、刻线和/或虚设填充的区域中的IC测试结构和/或E‑波束目标焊盘的伺机放置,以及包含相同结构的产品IC芯片在审

专利信息
申请号: 201580043425.3 申请日: 2015-06-12
公开(公告)号: CN106575649A 公开(公告)日: 2017-04-19
发明(设计)人: I·德;D·J·齐普利克卡斯;S·莱姆;J·黑格;V·V·罗夫纳;C·黑斯;T·W·布罗泽克;A·J·斯特罗瓦斯;K·董;J·K·基巴里安;S·F·李;K·W·迈克尔斯;M·A·斯特罗瓦斯;C·奥沙利文;M·贾殷 申请(专利权)人: 普迪飞半导体技术有限公司
主分类号: H01L23/58 分类号: H01L23/58
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司31100 代理人: 袁逸
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 以其 方式 用于 填充 单元 抽头 电容器 虚设 区域 中的 ic 测试 结构 波束 目标 伺机
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