[发明专利]用于EUV的自由电子激光器辐射源

权利要求书

1.一种使用自由电子激光器(FEL)来产生极紫外(EUV)辐射的方法，所述方法包括：

将驱动激光器束引导至阴极上以产生电子聚束；

将所述电子聚束传递至线性加速器(LINAC)以使所述电子聚束加速；

使所述电子聚束沿着电子聚束路径穿过波荡器，所述波荡器被配置以产生EUV辐射；

所述方法还包括：

通过施加在预定范围内的所述电子聚束的电荷或发射度的变化而从所述电子聚束路径移除带正电荷的离子；

其中电荷或发射度变化的所述预定范围被选择以限制所述线性加速器中的加速梯度的变化。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述电子聚束的电荷或发射度的所述变化的所述预定范围是所述电子聚束的所述电荷或发射度的10％或小于10％。

3.根据权利要求1所述的方法，其中将变化施加至所述电子聚束的所述电荷和所述发射度两者。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中通过变更入射于所述阴极上的所述驱动激光器束的激光脉冲的能量而实施被施加的所述变化。

5.根据权利要求4所述的方法，其中变更所述驱动激光器束的激光脉冲的所述能量包括与所述驱动激光器相关联的噪声的放大。

6.根据权利要求4所述的方法，其中普克尔斯盒用以变更所述驱动激光器的脉冲的所述能量。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中由所述驱动激光器产生的脉冲的波前被改变。

8.根据权利要求7所述的方法，其中普克尔斯盒用以改变由所述驱动激光器产生的脉冲的所述波前。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其中所述阴极的温度被改变以施加所述电子聚束的发射度的变化。

10.根据权利要求9所述的方法，其中入射于所述阴极上的激光被用来改变所述阴极的所述温度。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中电子聚束的序列包括周期性电子聚束序列，且清除间隙是通过提供具有减少的电荷的电子聚束来提供。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述清除间隙是通过提供具有减少至少10倍的电荷的电子聚束来提供。

13.一种自由电子激光器(FEL)极紫外(EUV)辐射源，包括：

驱动激光器，所述驱动激光器被配置成用以发射激光脉冲；

阴极，所述阴极被配置成用以接收所述激光脉冲且产生电子聚束；

线性加速器(LINAC)，所述线性加速器被配置成用以使所述电子聚束加速；和

波荡器，所述波荡器被配置成用以接收所述电子聚束且输出EUV辐射束；其中

所述自由电子激光器还包括离子移除设备，所述离子移除设备包括电子聚束电荷或发射度变化设备，所述电子聚束电荷或发射度变化设备受到控制单元控制以在预定范围内改变所述电子聚束的电荷或发射度，所述预定范围被选择用来从所述自由电子激光器移除离子、但限制所述线性加速器中的加速梯度的变化。

14.一种自由电子激光器(FEL)极紫外(EUV)辐射源，包括：

线性加速器(LINAC)，所述线性加速器被配置成用以使电子聚束加速；和

波荡器，所述波荡器被配置成用以接收所述电子聚束且输出EUV辐射束；其中

所述自由电子激光器还包括RF电磁波发射器，所述RF电磁波发射器被配置成用以提供延伸至所述自由电子激光器的束管内的RF渐消型电磁波或拍频RF电磁波。