[发明专利]曲面衍射光栅的模型的制造方法、曲面衍射光栅的制造方法、曲面衍射光栅以及光学装置在审
申请号: | 201580044297.4 | 申请日: | 2015-09-16 |
公开(公告)号: | CN106574998A | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 青野宇纪;松井繁;江畠佳定;八重樫健太 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;B29C33/38;B29C59/02;G01J3/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 熊风 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曲面 衍射 光栅 模型 制造 方法 以及 光学 装置 | ||
【说明书】:
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