[发明专利]从掩膜、载具和沉积工具部件移除沉积材料的剥离工艺

权利要求书

1.一种用于从诸如掩膜、载具和其他材料沉积系统部件的单个或多个工件剥离沉积材料的方法，包含：

提供工件，具有涂覆所述工件的表面的沉积材料层；

将所述工件浸没在超声波浴中并将超声波能量施加于所述工件上，其中所述超声波浴含有流体且所述流体保持在从大于室温到小于所述流体沸点的范围内的恒温下，其中所述恒温经选择以提供所述沉积材料层与所述工件之间的明显的CTE(热膨胀系数)失配，以促进从所述工件剥离所述沉积材料层，且其中所述超声波浴中的处理时间在几秒至120分钟的范围内，以使所述沉积材料层松动；

通过利用液体冲洗来清洗所述工件；以及

干燥所述工件。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包含：机械磨蚀所述工件上的所述沉积材料层。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述浴中的所述流体保持在从60℃到80℃的范围内的温度下。

4.一种用于从诸如掩膜、载具和其他材料沉积系统部件的单个或多个工件剥离沉积材料的方法，包含：

提供工件，具有涂覆所述工件的表面的沉积材料层；

将所述工件浸没在超声波浴中并将超声波能量施加于所述工件上，其中所述超声波浴含有流体且在室温与小于所述流体沸点之间的范围内选择的ΔT下循环所述流体，其中所述工件在所述超声波浴中的浸没期间在ΔT下经受多个循环，其中所述ΔT经选择以提供所述沉积材料层与所述工件之间存在明显CTE(热膨胀系数)失配的温度偏差，以促进从所述工件剥离所述沉积材料层，且其中所述超声波浴中的处理时间在几秒至120分钟的范围内，以使所述沉积材料层松动；

通过利用液体冲洗来清洗所述工件；以及

干燥所述工件。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述ΔT小于或等于80℃。

6.如权利要求4所述的方法，其中ΔT介于30℃与50℃之间。

7.如权利要求4所述的方法，进一步包含以下步骤：机械磨蚀所述工件上的所述沉积材料层。

8.如权利要求1或4所述的方法，进一步包含：在所述施加超声波能量的步骤后，利用研磨材料擦洗所述工件以便从所述工件的所述表面移除任何残留沉积材料中的大部分。

9.如权利要求1或4所述的方法，进一步包含：在所述施加超声波能量的步骤后，利用稀酸处理所述工件以有助于移除所述工件的所述表面上的任何残留沉积材料。

10.如权利要求1或4所述的方法，其中所述液体包含水。

11.如权利要求1或4所述的方法，其中所述液体包含有机溶剂。

12.一种用于从诸如掩膜、载具和其他材料沉积系统部件的单个或多个工件剥离沉积材料的系统，包含：

第一设备，用于自动机械磨蚀涂有沉积材料层的工件；

第二设备，用于在温度受控流体中将超声波能量施加于所述工件上；

第三设备，用于利用研磨材料擦洗所述工件上的所述沉积材料层；

第四设备，用于酸处理所述工件上的任何残余涂层；

第五设备，用于使用液体冲洗来清洗所述工件；以及

第六设备，用于干燥所述工件。

13.如权利要求12所述的系统，其中所述系统具有输送器，所述输送器用于在系统与系统之间移动所述工件。

14.如权利要求12所述的系统，其中所述第二设备经构造用于使所述工件完全浸没在所述温度受控流体中。

15.如权利要求12所述的系统，其中所述第三设备经构造用于在潮湿环境中利用研磨材料擦洗所述工件上的所述沉积材料层。