[发明专利]烷基铝溶液、烷基铝水解组合物溶液、铝氧化物膜涂布形成用组合物、具有铝氧化物膜的物品有效
| 申请号： | 201580044877.3 | 申请日： | 2015-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN106573790B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 丰田浩司;稻叶孝一郎;富安静夫;中俊雄;羽贺健一;宫岛晋介 | 申请（专利权）人： | 东曹精细化工株式会社 |
| 主分类号： | C01F7/02 | 分类号： | C01F7/02;B05D3/02;B05D7/24;C01F7/30;H01L21/316 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭煜;鲁炜 |
| 地址： | 日本山口*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烷基 溶液 水解 组合 氧化物 膜涂布 形成 具有 物品 | ||
【权利要求书】：
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