[发明专利]用于在激光加工工件时进行受温度补偿的干涉仪式间距测量的装置和方法

权利要求书

1.一种用于在激光加工工件(2)时测量所述工件(2)的反射的工件表面(2a)与反射的基准面(2b)之间的间距(A)的测量装置(3)，该测量装置具有干涉仪(5)，该干涉仪具有：分束器(6；18)，该分束器将干涉仪光(7)分到测量臂(9)上作为测量射束(10)以及分到基准臂(11)上作为基准射束(12)；和探测器(13)，该探测器探测在所述工件表面(2a)上被反射的测量射束(10)和在所述基准面(2b)上被反射的基准射束(12)，其中，所述测量臂(9)和所述基准臂(11)在所述干涉仪光(7)的相干长度之内是等长的，其中，

所述测量臂(9)具有测量光纤(14)而所述基准臂(11)具有基准光纤(15)并且所述测量臂(9)具有所述工件(2)的第一表面区域作为反射的工件表面，其特征在于，

所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)通过双包层光纤的芯和内包层形成，

所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)在所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)的长度相同的情况下在其整个光纤长度上或在所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)的长度不同的情况下在较短光纤的整个长度上平行地并排延伸并且相互处于热接触中，

所述基准臂(11)具有所述工件(2)的第二表面区域作为反射的基准面，并且

在所述工件(2)与所述测量光纤(14)的工件侧端部之间布置有转向光具(16)，该转向光具使所述测量射束(10)直接运动经过所述第一表面区域，以便实施所述第一表面区域的一维或二维测量。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)是两个独立的光纤，所述两个独立的光纤在其整个长度上或在其部分长度上相互贴靠。

3.根据权利要求1或2所述的测量装置，其特征在于，所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)在其工件侧端部处相互隔开间距。

4.根据权利要求1或2所述的测量装置，其特征在于，所述测量装置(3)布置在激光加工机的加工头(1)中。

5.一种用于在激光加工工件(2)时借助光纤受引导的干涉仪(5)测量工件(2)的反射的工件表面(2a)和反射的基准面(2b)之间的间距(A)的测量方法，其中，所述干涉仪(5)的测量射束(10)和基准射束(12)在测量光纤(14)中以及在基准光纤(15)中被引导，其中，所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)通过双包层光纤的芯和内包层形成，其中，所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)在所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)的长度相同的情况下在其整个光纤长度上或在所述测量光纤(14)和所述基准光纤(15)的长度不同的情况下在较短光纤的整个长度上平行地并排延伸并且相互处于热接触中，其中，通过转向光具(16)使所述测量射束(10)直接在所述工件表面(2a)上转向，该转向光具使所述测量射束(10)直接运动经过所述工件表面(2a)，以便实施所述工件表面的一维或二维测量。