[发明专利]具有限位结构的薄膜腔有效
申请号: | 201580046400.9 | 申请日: | 2015-09-16 |
公开(公告)号: | CN106716099B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 亨德里克·范·特里斯特;迈克尔·道恩豪尔 | 申请(专利权)人: | 英福康有限责任公司 |
主分类号: | G01M3/32 | 分类号: | G01M3/32 |
代理公司: | 44237 深圳中一专利商标事务所 | 代理人: | 阳开亮 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 限位 结构 薄膜 | ||
本发明涉及用于容纳用来被测试是否存在泄漏的测试目标的薄膜腔(12),包括至少两个薄膜膜层(14、16)和至少两个框架部件(24、26),所述两个框架部件(24、26)中的每一个都具有密封面,从而使得所述两个框架部件(24、26)以气密的方式彼此相对放置,用以紧密地封闭所述薄膜腔(12)。本发明的特征在于所述两个薄膜膜层(14、16)中的每一个都在其壁部区域具有至少一个限位结构(20),且所述两个框架部件(24、26)中的每一个都在所述框架部件的密封面上具有至少一个限位凹槽(22),用以容纳所述限位结构(20),从而使所述两个薄膜膜层(14、16)通过形状适配连接被基本上固定在所述两个框架部件(24、26)之间。
技术领域
本发明涉及用于容纳用来被测试是否存在泄漏的测试目标的薄膜腔。
背景技术
薄膜腔是用于容纳待进行气密性测试的测试目标的测试腔室的一种特殊形式。薄膜腔的特征在于一种实际情况:其至少一个腔壁部分由柔性材料(薄膜)制成。用来被测试是否存在泄漏的测试目标被放置在所述薄膜腔中,且所述薄膜腔随后被抽空。当抽空所述薄膜腔时,空气被从所述薄膜腔中抽出,从而使得柔性的薄膜腔腔壁紧贴在所述测试目标上。一种特别适用的薄膜腔包括两个薄膜膜层,所述两个薄膜膜层包围所述测试目标,并且在它们的边缘部分以气密的方式被彼此连接。
对于所述薄膜腔的气密性封闭而言,所述薄膜腔在框架的区域内被密封。在这种情况下,将所述薄膜膜层夹持在框架部件的夹持表面之间是已知的手段。其中,由于所述框架部件被压紧在一起,所述薄膜膜层被表面的压力固定。所述框架部件必须被用很大的力朝向彼此压紧。这样可能造成所述框架部件的变形,所述变形可能导致所述夹持表面的仅仅一小部分将夹持力传输到所述薄膜上。所述薄膜在受到拉伸应力时将可能从所述夹持配合中被剥脱。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种薄膜腔,其具有对薄膜膜层的改进的紧固方式。
本发明的薄膜腔由权利要求1的特征限定。
根据本发明,至少两个薄膜膜层中的每一个都在其边缘部分具有限位结构,该结构被制造用来卡合相应的框架部件的夹持表面中的对应的限位凹槽,以便在所述薄膜膜层和所述框架部件之间形成形状适配的连接。每个薄膜膜层被这样固定在相应的框架部件上,不需要传统的表面压力。所述两个框架部件而后被通过它们的密封部件放置成彼此紧贴,从而在它们的边缘部分提供所述薄膜腔的两半薄膜之间的气密性的连接。为了这个目的,有必要在所述框架部件上仅仅施加一个足以在唇形密封件和所述密封表面之间形成接触的力。因此,将要被施加在所述框架部件上的这个力不再必须是特别高以用来将所述薄膜膜层夹持在所述夹持表面之间。这样,所述薄膜膜层和所述框架部件之间的连接更加稳定,同时必须被施加在所述框架组件上的力较小。
优选地,两个薄膜膜层被精确地设置,在它们之间所述测试目标被放置在正中间。所述两个薄膜膜层中的每一个之后在其边缘部分被固定在仅仅一个框架部件上。所述框架部件被形成为沿周向围绕着所述薄膜膜层的外侧边缘,并且可能是单个的部件或者由多个部件组装而成。至少一个周向的密封件,例如形状为O形密封圈的密封件,被优选地设置在所述两个框架部件的所述两个夹持表面之间,用以提供所述两个框架组件的相对于彼此的气密性配合。
处于每个薄膜膜层的边缘部分的所述限位结构被设计为伸出部或突出部。相应的框架部件上的对应的限位凹槽被形成为与所述限位结构形状互补。限位结构和限位突出部可以具有下部具有切口的形状,用于特别牢固的限位。如果在从横截面方向观察时,所述限位结构的所述边缘部分及所述凹槽都形成有横向结构,则是尤其有利的。在这种情况下,当所述薄膜膜层受到拉伸应力作用时,不可能将所述限位结构从所述限位凹槽中撬动出来。
限位部件可以被安装在每个框架部件上,并且优选地可以被安装在所述框架部件的所述夹持表面上,所述限位部件固定所述限位结构,防止其滑出所述限位凹槽。所述限位部件可以例如被旋拧到所述夹持表面上并覆盖所述夹持槽。
附图说明
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