[发明专利]激振装置

说明书

本发明一实施方式的激振装置包括：振动台；使振动台在X轴方向振动的X轴激振单元；使振动台在Y轴方向振动的Y轴激振单元；使振动台在Z轴方向振动的Z轴激振单元；将振动台与Z轴激振单元以可向X轴方向滑动的方式连结的第一线性导轨；和将振动台与Z轴激振单元以可向Y轴方向滑动的方式连结的第二线性导轨，X轴线性导轨包括：向X轴方向延伸的X轴轨道；和以可在X轴方向滑动的方式与X轴轨道卡合的X轴滑架，Y轴线性导轨包括：向Y轴方向延伸的Y轴轨道；和以可Y轴方向滑动的方式与Y轴轨道卡合的Y轴滑架，X轴滑架直接固定于Y轴滑架。

技术领域

本发明涉及一种用于振动测试等的激振装置、电动型致动器、交叉导轨、线性导轨和振动台。

背景技术

已知有对振动台在正交3轴方向产生振动的3轴激振装置。专利文献1中记载通过使用包括转动体的转动引导式的线性导轨(以下，也简称“线性导”)，可产生高频区域的振动的激振装置。

为了在正交3轴方向(X轴、Y轴和Z轴方向)产生振动，例如需要通过两轴滑动件在X轴和Y轴方向可滑动地连结振动台与使该振动台在Z轴方向振动的Z轴致动器。专利文献1的激振装置中，是通过经由中间载台(连结板)将正交两轴(X轴、Y轴)的线性导轨的各滑架相互连结的交叉导轨(以下，也简称“交叉导”)构成作为两轴滑动件的XY滑动件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2009/011433号

发明所要解决的问题

但是，专利文献1的交叉导轨的结构中，因为使用中间载台，导致零件数量增多，交叉导轨非常重。因而，这会降低激振装置特别是在高频区域的性能。具体而言，因为激振装置的可动部变重，驱动时需要更多电力，此外，降低了可产生振动的频率的上限。另外，因为降低了激振装置的可动部的共振频率，所以在测试频率区域的振动噪音增多。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完全的，其目的在于通过简化交叉导轨的构造，实现交叉导轨小型、轻量化，结果使激振装置的频率特性提高。

用于解决问题的方法

本发明一实施方式的激振装置包括：振动台；X轴激振单元，其使振动台在X轴方向振动；Y轴激振单元，其使振动台在Y轴方向振动；Z轴激振单元，其使振动台在Z轴方向振动；X轴线性导轨，其将振动台与Z轴激振单元以可向X轴方向滑动的方式连结；和Y轴线性导轨，其将振动台与Z轴激振单元以可向Y轴方向滑动的方式连结， X轴线性导轨包括：X轴轨道，其向X轴方向延伸；和X轴滑架，其以可在X轴方向滑动的方式与X轴轨道卡合，Y轴线性导轨包括：Y 轴轨道，其向Y轴方向延伸；和Y轴滑架，其以可在Y轴方向滑动的方式与Y轴轨道卡合，X轴滑架直接固定于Y轴滑架。

采用上述构成时，因为不使用中间载台而构成线性导轨方式的交叉导轨，所以可通过小型、轻量化使激振装置的频率特性提高。

此外，本发明一实施方式的激振装置包括将X轴滑架固定于Y轴滑架的螺栓，在X轴滑架设置具有切孔的第一滑架安装孔，在Y轴滑架设置具有螺孔的第二滑架安装孔，通过第一滑架安装孔的螺栓被旋入到第二滑架安装孔，使得X轴滑架直接固定于Y轴滑架。

采用该构成时，无须经由中间载台，仅通过螺栓即可将X轴滑架固定于Y轴滑架。

上述激振装置也可构成为，在X轴滑架中设置有在Z轴方向延伸的4个第一滑架安装孔，在Y轴滑架中设置有在Z轴方向延伸的4个第二滑架安装孔，4个第一滑架安装孔的中心线与4个第二滑架安装孔的中心线分别通过XY平面上规定的正方形的各顶点。

采用该构成时，因为第一滑架安装孔与第二滑架安装孔分别具有2 次旋转对称性，所以即使将Y轴滑架相对于X轴滑架在Z轴周围相差 90度方向，仍可以螺栓直接连结X轴滑架与Y轴滑架。