[发明专利]光调制装置和光学系统

权利要求书

1.一种光调制装置，其特征在于，

具有：

偏光分离部，其将输入光分离成相互正交的方位的直线偏光的光成分，并输出第一分离光和第二分离光；

第一偏光面旋转部，其使从所述偏光分离部输出的所述第一分离光或所述第二分离光的偏光面旋转，使所述第一分离光和所述第二分离光成为相互相同的方位的直线偏光；

反射型的空间光调制器，其具有对输入的光的振幅或相位进行调制并输出该调制后的光的排列有多个像素的调制面，该调制面包括第一区域和第二区域，在利用所述第一偏光面旋转部而成为相互相同的方位的直线偏光的所述第一分离光和所述第二分离光中，对所述第一分离光在所述第一区域中进行调制并输出该调制后的第一调制光，对所述第二分离光在所述第二区域中进行调制并输出该调制后的第二调制光；

第二偏光面旋转部，其使从所述空间光调制器输出的所述第一调制光或所述第二调制光的偏光面旋转，使所述第一调制光和所述第二调制光成为相互正交的方位的直线偏光；和

偏光合成部，其将利用所述第二偏光面旋转部而成为相互正交的方位的直线偏光的所述第一调制光和所述第二调制光进行合成而成为输出光。

2.如权利要求1所述的光调制装置，其特征在于：

还具有：光输入输出部，其具有使所述输入光向所述偏光分离部反射的第一反射面和使来自所述偏光合成部的所述输出光反射的第二反射面，来自所述第二反射面的所述输出光的输出方向与向所述第一反射面的所述输入光的输入方向相同。

3.一种光学系统，其特征在于，

具有：

光源，其输出光；和

权利要求1或2所述的光调制装置，其输入从所述光源输出的光并进行调制，而输出该调制后的光并向对象物照射。

4.一种光学系统，其特征在于，

具有：

权利要求1或2所述的光调制装置，其输入由对象物发生的光并进行调制，而输出该调制后的光；和

检测部，其对从所述光调制装置输出的光进行检测。