[发明专利]带粗调的放大式压电致动器有效
申请号: | 201580047032.X | 申请日: | 2015-08-13 |
公开(公告)号: | CN106796982B | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | S·法蒂;M·罗布森;K·蒂斯 | 申请(专利权)人: | 统雷有限公司 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H02N2/06 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 郑勇 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 带粗调 放大 压电 致动器 | ||
本发明提供一种整合推螺纹棒粗调和机械放大式压电动作微调的压电式致动器的三种设计变形。机械放大器沿纵轴容纳一个或多个预加载的压电叠堆,以转化为放大几个数量级的,垂直于压电叠堆位移的沿横轴位移。压电放大器输出行程被传送到在末端带有球的螺纹棒以推动所设表面的位置调整和位移变换,例如镜架等应用。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2014年8月15日提交的序列号为62/037,997的美国临时申请的优先权,且其内容特此通过引用方式并入本文。本申请也要求于2014年9月16日提交的序列号为62/050,814的美国临时申请的优先权,且其内容特此通过引用方式并入本文。
技术领域
本发明一般涉及压电致动器。更具体地,本发明涉及带粗调的放大式压电致动器。
背景技术
压电式叠堆在激发时通过改变施加电压提供有限的位移。基于挠曲的机械结构已被开发,且常用于沿压电膨胀横向的反复放大至高达100微米级别的位移。但是例如操作镜架中的梁的应用,现有的同一设备内不能兼具毫米级别粗调和从亚微米级别到上百微米级别的压电驱动微调。因此,有必要提供一种兼具粗调和微调的整合设备以满足上述需求。
发明内容
本发明的一个实施例提供了一种致动器,包括:螺纹螺丝;以及压电放大器,其中该压电放大器包括:顶壁、底壁、第一及第二边壁,该壁由柔性铰链连接;第一和第二压电叠堆;以及中间耦合组件;其中该第一压电叠堆的一端与该第一边壁耦合,该第二压电叠堆的一端与该第二边壁耦合,该第一及第二压电叠堆的另一端通过该中间耦合组件相互耦合;其中该顶壁包括螺纹孔,该底壁包括第一通孔,而该中间耦合组件包括第二通孔;其中该螺纹螺丝穿过该第一及第二通孔并啮合该螺纹孔;其中当电压施加到该压电叠堆时,该压电叠堆通过该压电叠堆的膨胀或收缩导致该边壁水平运动,该水平运动通过该柔性铰链导致该顶壁垂直运动,该垂直运动通过该顶壁的该螺纹孔拉或推该螺纹螺丝导致该螺纹螺丝的第一平移运动;以及该螺纹螺丝相对于该螺纹孔的旋转导致该螺纹螺丝的第二平移运动。
本发明的另一个实施例提供了一种致动器,包括:螺纹螺丝;以及压电放大器;其中该压电放大器包括:顶壁、底壁、第一及第二边壁,该壁由柔性铰链连接;以及压电叠堆;其中该压电叠堆的一端与该第一边壁耦合而该压电叠堆的另一端与该第二边壁耦合;其中该顶壁包括螺纹孔而该底壁包括通孔,且两孔偏移平面一段距离容纳该压电叠堆;其中该螺纹螺丝穿过该通孔并啮合该螺纹孔;其中当电压施加到该压电叠堆时,该压电叠堆通过该的压电叠堆的膨胀或收缩导致该边壁水平运动、该水平运动通过该柔性铰链导致该顶壁垂直运动,该垂直运动通过该顶壁的该螺纹孔拉或推该螺纹螺丝导致该螺纹螺丝的第一平移运动;以及该螺纹螺丝相对于该螺纹孔的旋转导致该螺纹螺丝的第二平移运动。
本发明的另一个实施例还提供了一种致动器,包括:螺纹螺丝;以及第一及第二压电放大器;其中所述第一及第二压电放大器包括:顶壁、底壁、第一及第二边壁,所述壁由柔性铰链连接;以及压电叠堆;其中所述压电叠堆的一端与所述第一边壁耦合而所述压电叠堆的另一端与所述第二边壁耦合;其中所述第一及第二压电放大器相互平行且间隔一段距离,而所述第一及第二压电放大器的顶壁是整合的且所述整合的顶壁包括螺纹孔;其中所述螺纹螺丝穿过所述第一及第二压电放大器之间的空间并啮合所述螺纹孔;其中当电压施加到所述第一及第二压电放大器的每个所述压电叠堆时,所述压电叠堆通过所述的压电叠堆的膨胀或收缩导致所述边壁水平运动、所述水平运动通过所述柔性铰链导致所述顶壁垂直运动,所述垂直运动通过所述顶壁的螺纹孔拉或推所述螺纹螺丝导致所述螺纹螺丝的第一平移运动;以及所述螺纹螺丝相对于所述螺纹孔的旋转导致所述螺纹螺丝的第二平移运动。
附图说明
图1所示为根据实施例的放大式压电致动器透视图;
图2所示为根据实施例的放大式压电致动器在调整镜子方面的典型应用;
图3所示为根据实施例的放大式压电致动器内部架构;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于统雷有限公司,未经统雷有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580047032.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:致动器系统
- 下一篇:具有低K金属间电介质以供减小寄生电容的MRAM集成