[发明专利]研磨组合物以及研磨方法有效
| 申请号： | 201580047692.8 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN106687552B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 野岛义弘 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
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