[发明专利]具备固定加热块的角阀

说明书

本发明涉及具备固定加热块的角阀，其特征在于，包括：阀壳(100)，其在内侧形成有流体移动孔(101)，且具备供流体流入的流入部(110)和供流体流出的流出部(120)；固定加热块(200)，其固定安装于所述阀壳(100)的内侧，且在内部具备滑动孔(210)；驱动构件(300)，其能拆卸地结合于所述阀壳(100)上部，提供驱动力；密闭部(400)，其与所述驱动构件(300)连接，根据所述驱动构件(300)的驱动与否而开闭所述流入部(110)。

技术领域

本发明涉及具备固定加热块的角阀，所述具备固定加热块的角阀的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成有流体移动孔101，且具备供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120；固定加热块200，其固定安装于所述阀壳100的内侧，且在内部具备滑动孔210；驱动构件300，其能拆卸地结合于所述阀壳100上部，提供驱动力；密闭部400，其与所述驱动构件300连接，根据所述驱动构件300的驱动与否而开闭所述流入部110。

背景技术

一般而言，半导体或LCD具有固定密度，因而要求高清洁度和特殊的制造技术。

由于这种理由，半导体元件在能够最完美地切断与空气中包含的异物接触的真空状态下进行制造。

因此，半导体制造装置的真空作业区域与大气的密封技术，也对半导体制品的品质产生许多影响。

在如上所述制造半导体所需的工序区间安装有角阀，执行把借助于真空泵而移动的流体传递到腔内或切断的功能。

这种角阀具备供流体流入的流入部和供流体流出的流出部，随着缸的驱动，密闭部移动并对流入部进行开闭，从而向腔内部传递流体或切断。

另一方面，随着流体借助于真空泵而排气，流体内存在的工序副产物流入角阀内部，因此，如果暴露于角阀内部的由不锈钢或铁等材质形成的波纹管等，则因化学反应而生成微粒。

如上所述因化学反应而生成的微粒在低温下析出，发生固着于角阀内部或密闭部等的现象，缩短角阀的寿命，为了防止微粒的固着，在角阀内部附着有发散既定温度以上的热的加热器，使角阀内部的温度上升，从而防止微粒的析出现象。

下述专利文献1的“CVD装置的真空排气阀(大韩民国注册专利公报第10-0256768号)”涉及在一侧具有气体流入口或气体流出口而在下侧具有气体流出口的阀箱中，利用波纹管对借助于上侧的促动器而进行开闭运转的阀体的运转连接部进行密封的CVD装置的真空排气阀，在所述波纹管内，在阀体的运转连接部的外周侧配置能弹性伸缩的线圈状的加热套，将其下端固定于阀体的上侧，上端固定于阀箱内顶面后，连接于阀箱外的导线，把对加热套进行温度控制的铠装式热电偶按相同级别、相同圈数，同心配置于加热套的内周侧，在阀箱外面附着橡胶加热器，从而使波纹管内部的阀体和加热套一体运转，在阀开闭时，可以加热阀体或波纹管，具有能够防止在阀箱内发生微粒的优点。

但是，所述专利文献1的“CVD装置的真空排气阀”在促动器通过空压而上下运动时，连接于活塞杆的线圈形状的加热套及铠装式热电偶同时游动，因而由于每天少则数百次、多则数千次的促动器的反复运转，加热套及铠装式热电偶因收缩及放松的反复运转而发生变位，具有存在破损危险性的问题。

另外，线圈形状的加热套及铠装式热电偶由于其结构性形状，在放松时，与放松的加热套的体积相比，发热量小，存在难以高效地把热传递到阀箱及波纹管内部的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题

本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明的目的在于提供一种具备固定加热块的角阀，把发热的固定加热块固定安装于波纹管内侧，从而即使驱动构件运转，固定加热块仍然保持固定状态，能够提高固定加热块的寿命及效率，减小部件更换的次数，能够防止连接于固定加热块的电线因驱动构件的运转而损伤。