[发明专利]薄膜型基于电阻的传感器

权利要求书

1.一种换能器，包括：

阻挡层；

有源感测层，所述有源感测层与至少两个电极接触；以及

电介质层，所述电介质层在所述有源层与所述阻挡层之间并且具有第一侧和第二侧，所述至少两个电极均与所述电介质层第二侧相邻，所述换能器为电阻式换能器。

2.如权利要求1所述的换能器，其中，所述阻挡层包括从由以下各项组成的组中选择的材料：金属、金属氧化物、金属氮化物、半导体、玻璃、有机聚合物、以及上述各项的混合物。

3.如权利要求1所述的换能器，其中，所述有源感测层具有小于约1,000nm的厚度。

4.如权利要求1所述的换能器，其中，所述有源感测层是碳质材料。

5.如权利要求1所述的换能器，其中，所述有源感测层从由以下各项组成的组中选择：碳纳米管、碳纳米管织物、非晶碳膜、石墨、石墨烯、热解碳、碳纤维、炭黑、硅、导电聚合物、富勒烯碳烟灰、以及上述各项的复合物和混合物。

6.如权利要求1所述的换能器，其中，所述电介质层包括从由以下各项组成的组中选择的材料：非导电聚合物、非导电光刻胶、非导电陶瓷、非导电金属氮化物、非导电金属氧化物、非导电金属复合物，以及上述各项的混合物。

7.如权利要求1所述的换能器，所述有源感测层具有第一侧和第二侧，其中，所述有源感测层第一侧靠着所述电介质层第二侧。

8.如权利要求1所述的换能器，其中，所述阻挡层具有第一侧和第二侧，所述电介质层与所述阻挡层第二侧相邻，并且所述换能器进一步包括靠着所述阻挡层第一侧的基板。

9.如权利要求8所述的换能器，其中，所述基板从由以下各项组成的组中选择：金属、金属氧化物、金属氮化物、半导体、玻璃、纸、有机聚合物、以及上述各项的混合物。

10.如权利要求6所述的换能器，进一步包括靠着所述有源感测层第二侧的信号增强层。

11.如权利要求10所述的换能器，其中，所述信号增强层包括从由以下各项组成的组中选择的材料：非导电聚合物、非导电光刻胶、非导电陶瓷、非导电金属氮化物、非导电金属氧化物、非导电金属复合物，以及上述各项的混合物。

12.如权利要求10所述的换能器，进一步包括与所述信号增强层相邻的过滤层。

13.如权利要求12所述的换能器，其中，所述过滤层从由以下各项组成的组中选择：金属膜、聚合物膜、陶瓷膜、单晶膜、离子选择性膜、化学选择性膜、生物选择性膜、金属氧化物膜、金属氮化物膜、有机金属膜、以及上述各项的组合。

14.如权利要求1所述的换能器，其中：

所述阻挡层包括从由以下各项组成的组中选择的材料：金属、金属氧化物、金属氮化物、半导体、玻璃、有机聚合物、以及上述各项的混合物；

所述有源感测层从由以下各项组成的组中选择：碳纳米管、碳纳米管织物、非晶碳膜、石墨、热解碳、石墨烯、碳纤维、炭黑、硅、导电聚合物、富勒烯碳烟灰、以及上述各项的复合物和混合物；并且

所述电介质层包括从由以下各项组成的组中选择的材料：非导电聚合物、非导电光刻胶、非导电陶瓷、非导电金属氮化物、非导电金属氧化物、非导电金属复合物，以及上述各项的混合物。

15.如权利要求1所述的换能器，其中，所述有源感测层具有第一侧和第二侧，并且所述有源感测层第一侧靠着所述电介质层第二侧，所述换能器进一步包括：

信号增强层，所述信号增强层靠着所述有源感测层第二侧；以及

过滤层，所述过滤层与所述信号增强层相邻。