[发明专利]液体供给系统

权利要求书

1.一种液体供给系统，通过波纹管的伸缩而供给含有浆料成分的超低温液体，

所述波纹管中的至少所述液体接触的区域由低温脆化温度为液体供给系统的使用温度以下的树脂所涂覆，其特征在于，所述液体供给系统包括：

容器，其被构成为从与系统外部连通的第一通道吸入液体，并将吸入的液体送至与系统外部连通的第二通道；

第一波纹管和第二波纹管，其在所述容器内部的伸缩方向上串联配置，并被构成为，相互接近一侧的各个第一端部分别固定在所述容器的内壁上，相互远离一侧的各个第二端部分别在伸缩方向上能够移动；以及

轴，其插入所述容器的内部并分别使所述第一波纹管和所述第二波纹管的所述第二端部固定，并通过驱动源在所述伸缩方向上往复移动而使所述第一波纹管和所述第二波纹管伸缩，

所述容器内的所述第一波纹管的外侧为第一泵室，在该第一泵室中设置有第一吸入口和第一送出口，所述第一吸入口用于将液体从所述第一通道吸入第一泵室内，所述第一送出口用于将吸入的液体从第一泵室内送至所述第二通道，

所述容器内的所述第二波纹管的外侧为第二泵室，在该第二泵室中设置有第二吸入口和第二送出口，所述第二吸入口用于将液体从所述第一通道吸入第二泵室内，所述第二送出口用于将吸入的液体从第二泵室内送至所述第二通道，

所述第一波纹管和所述第二波纹管的内侧形成有密闭空间，

所述液体供给系统还包括第三波纹管，所述第三波纹管与所述第二波纹管在伸缩方向上串联配置，其一侧端部固定于所述容器，另一侧端部与所述第二波纹管的所述第二端部连接，使所述第三波纹管的外侧成为所述第二泵室，内侧向所述容器的外部敞开，并随着所述第二波纹管的伸缩而伸缩，

所述轴插入所述第三波纹管的内侧并与所述第二端部连接，

至少所述第一波纹管中的面向所述第一泵室的区域、所述第二波纹管中的面向所述第二泵室的区域、和所述第三波纹管中的面向所述第二泵室的区域由低温脆化温度为液体供给系统的使用温度以下的树脂所涂覆。

2.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，

所述超低温液体为液氮或液氦。

3.根据权利要求1或2所述的液体供给系统，其特征在于，

至少所述容器内的面向所述第一泵室和所述第二泵室的区域也由所述树脂所涂覆。