[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

说明书

在位置偏移检测动作时，搬送机构的手部移动到基板支撑部的真目标位置。由基板支撑部在预先设定的基准位置支撑的基板由搬送机构的手部接受。由手部接受的基板和手部的位置关系由位置检测部检测。基于所检测的位置关系，获取基板支撑部的基准位置和真目标位置的偏移量。在所获取的偏移量大于预先设定的阈值的情况下输出警报。

技术领域

本发明涉及基板处理装置以及基板处理方法。

背景技术

为了对半导体基板、液晶表示装置用基板、等离子体显示器用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板或光掩模用基板等各种基板进行各种各样的处理，而使用基板处理装置。在这样的基板处理装置中，多个基板由搬送装置依次搬送到处理部的规定的基板支撑部。处理部对被搬送到基板支撑部上的基板进行热处理或成膜处理等规定的处理(例如参照专利文献1)。

在专利文献1的基板处理装置中，在轨道上层叠的多个热处理部设置为能够在正常位置和退避位置之间移动。多个热处理部在搬送装置的维护时移动到退避位置，在基板处理时移动到正常位置。

专利文献1：JP特开2004-15019号公报

发明内容

发明要解决的问题

如专利文献1那样，通过将处理部构成为能够移动，从而维护变得容易。但是，在维护后处理部返回到正常位置时会产生稍稍的位置偏移。由此，处理部内的基板支撑部产生位置偏移。另外，在维护时将处理部内的基板支撑部从处理部卸下后，再次将基板支撑部安装在处理部上。在该情况下，也会产生基板支撑部相对于处理部的位置偏移。当在基板支撑部产生位置偏移的状态下进行基板处理时，有可能导致基板处理的精度下降。

本发明的目的在于，提供一种能够防止在基板支撑部产生位置偏移的状态进行基板处理的基板处理装置以及基板处理方法。

用于解决问题的手段

(1)本发明的一个局面的基板处理装置对基板进行处理，其中，

具有：

基板支撑部，具有预先设定的基准位置，并能够支撑基板，

搬送装置，具有保持基板的保持部，通过使保持部移动来搬送基板，

位置检测部，对由保持部保持的基板和保持部的位置关系进行检测，

控制部，在基板处理时，以为了向基板支撑部的基准位置交付基板或从基准位置接受基板而使保持部移动到目标位置的方式对搬送装置进行控制；

控制部在位置偏移检测动作时，以使保持部移动到基板支撑部的目标位置并接受由基板支撑部支撑的基板的方式对搬送装置进行控制，并且，基于由位置检测部检测出的位置关系，来获取基准位置和目标位置的偏移量，在所获取的偏移量大于预先设定的第一阈值的情况下输出警报。

在该基板处理装置中，在基板处理时，搬送装置的保持部移动到目标位置。由此，能够由保持部将基板交付给基板支撑部，以在基准位置支撑基板，或者，接受在基准位置支撑的基板。在此，因维护时的基板支撑部的卸下以及安装或部品的随时间的劣化等，基板支撑部产生位置偏移。

根据本发明的结构，在位置偏移检测动作时，搬送装置的保持部移动到基板支撑部的目标位置。由此，由基板支撑部在基准位置支撑的基板由保持部接受。对由保持部接受的基板和保持部的位置关系进行检测。基于所检测的位置关系，获取基板支撑部的基准位置和目标位置的偏移量。在所获取的偏移量大于预先设定的第一阈值的情况下输出警报。由此，能够向作业者通知基板支撑部产生位置偏移。其结果，能够防止在基板支撑部产生位置偏移的状态进行基板处理。

(2)基板支撑部将基板保持为水平姿势并能够以基准位置为中心旋转，