[发明专利]试样移动载置系统及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种试样移动载置系统，具有试样载置部件和试样移动装置，该试样载置部件载置试样，该试样移动装置提升试样并使该试样在试样载置部件与其它场所之间移动，其特征在于，

所述试样移动装置具备试样保持装置，所述试样保持装置具有与应提升的试样相对的试样保持面，通过使气体在所述试样保持面与试样之间流通而产生负压，利用该负压将试样吸附到试样保持面侧，并将试样保持在与试样保持面接近的位置，

该试样保持装置具有与试样的一部分接触的接触部件和包含驱动促动器且使接触部件在沿着试样保持面的方向移动的移动机构，

在所述试样载置部件具有载置试样的试样载置预定区域，在该试样载置预定区域的边部或其附近设置凹部，

在使所述试样保持装置接近试样载置部件的试样载置预定区域的状态时，使试样保持装置的接触部件的一部分进入所述凹部，并利用所述驱动促动器使移动机构动作，由此，接触部件的一部分在所述凹部内移动，以对载置于试样载置部件上的试样的姿势进行修正，

试样载置部件具有在沿着试样保持面的方向排列设置的多个试样载置预定区域，在各试样载置预定区域具有对应的凹部，与相邻的试样载置预定区域对应的凹部即位于相对位置的凹部为相互错位的位置关系。

2.如权利要求1所述的试样移动载置系统，其特征在于，

具有两个以上的接触部件，试样保持面为多边形，所述接触部件设置在至少不同的两边的周部。

3.如权利要求1或2所述的试样移动载置系统，其特征在于，

试样移动装置具备多个试样保持装置，在相邻的试样保持装置的相对位置具有属于相邻的试样保持装置的接触部件，设置于相邻的试样保持装置的相对位置的属于相邻的试样保持装置的接触部件为相互错位的位置关系。

4.如权利要求1或2所述的试样移动载置系统，其特征在于，

接触部件为销，凹部为长孔。

5.如权利要求1或2所述的试样移动载置系统，其特征在于，

试样载置部件为板状，在设置为水平姿势的状态下放置试样，之后变化为纵向姿势，再之后返回到水平姿势，在试样载置预定区域的边部或其附近设置试样支承部件，在试样载置部件为纵向姿势时，试样的一部分与所述试样支承部件抵接而被阻止下落。

6.如权利要求1或2所述的试样移动载置系统，其特征在于，

试样为在半导体基板或一部分上具备半导体层的太阳能电池的半成品。

7.如权利要求1或2所述的试样移动载置系统，其特征在于，

试样为晶体硅基板或以晶体硅基板为主体的太阳能电池的半成品。

8.如权利要求1或2所述的试样移动载置系统，其特征在于，

在试样载置部件设置有阻止试样的位置或姿势发生变化的定位部件。

9.一种太阳能电池的制造方法，该太阳能电池在半导体基板或一部分上具备半导体层，其特征在于，

具备以作为太阳能电池的半成品的半成品太阳能电池基板为试样，并利用权利要求1～8中任一项所述的试样移动载置系统的试样保持装置保持试样的基板保持工序。

10.如权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

半成品太阳能电池基板为晶体硅基板或以晶体硅基板为主体的半成品太阳能电池基板。

11.如权利要求9或10所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

包含将载置在试样载置部件的试样用试样保持装置保持并提升的基板提升工序，在基板提升工序中，使所述试样移动装置的试样保持装置接近基板，并使移动机构动作，来修正基板的姿势。

12.如权利要求9或10所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在基板保持工序之后，具有在该基板上制作透明导电膜的工序。