[发明专利]制备具有改善的耐磨性的双层涂布的切割工具的方法有效
| 申请号： | 201580051021.9 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN107002226B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | D·库拉波夫;T·萨萨基;S·科塞基;K·莫里斯塔;S·B·阿布苏里克;K·伊诺伊 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面解决方案股份公司;普费菲孔;日立金属株式会社;三菱日立工具株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 段菊兰;杨思捷 |
| 地址： | 瑞士普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 具有 改善 耐磨性 双层 切割 工具 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备涂布有硬涂层的工具的方法，所述方法包括以下步骤：
-采用第一磁控溅射工艺将TiAlN涂层施加到基体上；
-采用第二磁控溅射工艺将TixSi1-xN涂层施加到所述TiAlN层上，其中x小于或等于0.85，优选在0.80至0.70之间，包括0.80和0.70；
其特征在于，所述第二磁控溅射工艺采用大于100W/cm2的功率密度来实施且本身为一种HIPIMS工艺。
2.根据权利要求1的方法，其特征在于，在向基体施加负偏压时实施所述第二磁控溅射工艺，其中所述负偏压的值为-60V至-120V，包括-60V和-120V，特别优选所述负偏压的值为-70V至-80V，包括-70V和-80V。
3.根据权利要求1或权利要求2的方法，其特征在于，所述第一磁控溅射工艺也为HIPIMS工艺。
4.根据权利要求3的方法，其特征在于，在向基体施加负偏压时实施所述第一磁控溅射工艺，其中所述负偏压的值为-40V至-70V，包括-40V和-70V。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔;日立金属株式会社;三菱日立工具株式会社，未经欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔;日立金属株式会社;三菱日立工具株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580051021.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：夹扇
- 下一篇：吊顶面板（艾伦‑美式拼板）
- 同类专利
- 专利分类
