[发明专利]检查装置以及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，对在表面具有梨皮状的区域的对象物的所述表面的缺陷进行检测，其特征在于，具有：

拍摄部，通过对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；

存储部，存储与所述拍摄图像对应的参照图像；

缺陷检测部，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之比检测出的区域，

第一照明部，仅从一个方向向所述对象物的表面中的规定的对象区域照射光；

第二照明部，从多个方向向所述对象区域照射光；

检测控制部，使所述缺陷检测部使用从所述第一照明部照射光并由所述拍摄部获取的第一拍摄图像和与所述第一拍摄图像对应的第一参照图像来检测出第一缺陷区域，使所述缺陷检测部使用从所述第二照明部照射光并由所述拍摄部获取的第二拍摄图像和与所述第二拍摄图像对应的第二参照图像来检测出第二缺陷区域；

缺陷更新部，将在所述第一缺陷区域以及所述第二缺陷区域中重复的区域确定为更新后的缺陷区域。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述缺陷检测部在检测出所述第一缺陷候补区域后，在检测所述第二缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述比的像素限制为所述第一缺陷候补区域所包含的像素，或者，所述缺陷检测部在检测出所述第二缺陷候补区域后，在检测所述第一缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述差的像素限制为所述第二缺陷候补区域所包含的像素。

3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述第二缺陷候补区域将所述拍摄图像的像素的灰度值比所述参照图像的对应的像素的灰度值低的缺陷候补区域和所述拍摄图像的像素的灰度值比所述参照图像的对应的像素的灰度值高的缺陷候补区域进行区别而包含。

4.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述缺陷检测部基于所述拍摄图像的各像素的灰度值和对所述拍摄图像实施了膨胀处理或收缩处理的图像的对应的像素的灰度值之差来检测出第三缺陷候补区域，检测出在所述第一缺陷候补区域、所述第二缺陷候补区域以及所述第三缺陷候补区域中重复的区域作为所述缺陷区域。

5.一种检查方法，对在表面具有梨皮状的区域的对象物的所述表面的缺陷进行检测，其特征在于，包括：

a)工序，通过拍摄部对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；

b)工序，准备与所述拍摄图像对应的参照图像，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之比检测出的区域，

在所述a)工序中，仅从一个方向向所述对象物的表面中的规定的对象区域照射光，并且通过所述拍摄部获取第一拍摄图像，

在所述b)工序中，使用所述第一拍摄图像和与所述第一拍摄图像对应的第一参照图像来检测出第一缺陷区域，

所述检查方法还包括：

从多个方向向所述对象区域照射光，并且由所述拍摄部获取第二拍摄图像的工序；

使用所述第二拍摄图像和与所述第二拍摄图像对应的第二参照图像，通过与所述b)工序同样的处理来检测第二缺陷区域的工序；

将在所述第一缺陷区域以及所述第二缺陷区域中重复的区域确定为更新后的缺陷区域的工序。

6.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于，

在所述b)工序中，在检测出所述第一缺陷候补区域后，在检测所述第二缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述比的像素限制为所述第一缺陷候补区域所包含的像素，或者，在检测出所述第二缺陷候补区域后，在检测所述第一缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述差的像素限制为所述第二缺陷候补区域所包含的像素。