[发明专利]透镜制造方法、透镜及透镜保持装置

说明书

本发明提供一种能够制造具有优异的光学透射性能的透镜的透镜制造方法、具有优异的光学透射性能的透镜及这种透镜的制造中所使用的透镜保持装置。透镜制造方法包括将透镜保持在透镜保持工具的保持工序及对所保持的透镜的加工对象面进行加工的加工工序，其中，加工对象面的背面以第1面形状误差来加工成非平面形状，透镜保持工具的透镜保持面以小于第1面形状误差的第2面形状误差来加工成与非平面形状相同的形状，在保持工序中，通过使背面与保持面顺应地面接触，对透镜的形状进行矫正以使背面沿着保持面，在加工工序中，以通过保持工序已进行矫正的状态对加工对象面进行加工。

技术领域

本发明涉及一种透镜制造方法、透镜及透镜保持装置，尤其涉及一种对透镜进行磨削、研磨的透镜制造方法、经磨削、研磨来制造的透镜及这种透镜的制造中所使用的透镜保持装置。

背景技术

当对如透镜或半导体晶片那样的加工对象物进行磨削、研磨加工时，将加工对象物的背面粘附于保持工具(夹具)或经由保持工具吸引加工对象物的背面来进行固定，并以已进行固定的状态使用加工机对加工对象面进行加工。

例如专利文献1中记载有在透镜研磨用夹具中安装透镜时使用粘合剂或吸引背面的技术。并且，专利文献2中记载有在对透镜进行研磨时用多个吸附口来吸附透镜的技术，专利文献3、4中记载有经由多孔体或多个孔吸附平面状半导体晶片的技术。

并且，已知有在将如透镜那样的一般为非平面形状的加工对象物固定在保持工具时，使保持工具的保持面的形状仿效加工对象物的背面形状。例如专利文献5中记载有经由低熔点合金将透镜背面固定在固定装置的技术，专利文献6、7中记载有具有塑性及形状记忆性的透镜保持部件根据透镜的背面形状相应地变形的技术。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-79547号公报

专利文献2：日本特开2002-126960号公报

专利文献3：日本特开平8-323571号公报

专利文献4：日本特开2005-118979号公报

专利文献5：日本特开2003-334748号公报

专利文献6：日本特开2013-180372号公报

专利文献7：日本特开2013-180373号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

近年来，电影及电视广播正向图像的高清晰化发展。伴随于此，也对拍摄这种高清晰图像的传感器进行高像素化而像素尺寸变小。因此，光学系统中所要求的精度也变得非常高。例如通常的球面透镜中，有时面形状中发生马鞍形误差(所谓的偏离误差)，并且因与背面的面形状精度差，在透射波前发生像差。将来，预测该偏离误差的容许值将达到0.1μm以下。

然而，通过如上所述的以往技术，难以以高精度来加工两面均为非平面形状的透镜。