[发明专利]显示器用支承基板、使用其的滤色片及其制造方法、有机EL元件及其制造方法以及柔性有机EL显示器

说明书

技术领域

本发明涉及显示器用支承基板、使用其的滤色片(color filter)及其制造方法、有机EL元件及其制造方法以及柔性有机EL显示器。

背景技术

与玻璃相比，有机膜具有富有弯曲性、不易破裂、轻质这样的优势。最近，正在活跃地进行下述研究：利用有机膜来形成平板显示器的基板，从而将显示器柔性化。

通常，作为有机膜中使用的树脂，可举出聚酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚醚砜、丙烯酸树脂、环氧树脂等。特别是聚酰亚胺，不仅具有比其他树脂高的耐热性，而且还兼具高机械强度、耐磨耗性、尺寸稳定性、耐化学药品性等优异的机械特性、及绝缘性等优异的电特性，因此，正在开发使用了聚酰亚胺膜的柔性基板。

作为柔性基板的例子，可举出柔性TFT(Thin Film Transistor、薄膜晶体管)基板、柔性有机EL元件基板、柔性滤色片基板等显示器用基板。滤色片是为了使以白色光作为光源的有机场致发光显示装置、液晶显示装置进行彩色显示所必需的构件。通常为将红色的着色像素、绿色的着色像素及蓝色的着色像素这3种颜色的着色像素微细地进行图案化而成的3色滤色片。3色滤色片中，白色是利用红、绿、蓝这3种颜色的着色像素的加色混合而得到的。

对于上述例举的平板显示器基板以及滤色片基板而言，要求在可见光区域光线透过率高。此外，为了防止由形成TFT、滤色片等显示元件·受光元件时的加热导致的对位精度的恶化，要求线性热膨胀系数(CTE)低、在基板上不产生翘曲。此外，为了防止从倾斜方向观察时的色偏差或者抑制使用圆偏光膜时的环境光(ambient light)反射，要求低双折射率。

作为在可见光区域显示高光线透过率的透明聚酰亚胺，公开了由含氟及/或脂环式酸二酐与含氟及/或脂环式二胺形成的聚酰亚胺(例如，参见专利文献1～4)。

此外，作为制作即使CTE之差大翘曲也少的有机EL装置的方法，公开了下述方法：在与层叠于低CTE层的高CTE层相反的一侧层叠形状保持层，抵消在低CTE层的两侧产生的应力，抑制基板的翘曲(例如，参见专利文献5)。此外，作为同时实现低CTE、低双折射率的柔性基板，公开了以特定的方法使用特定的酸二酐和二胺而制作的聚酰亚胺(例如，参见专利文献6)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-338394号公报

专利文献2：日本特开2012-146905号公报

专利文献3：日本特开2008-045054号公报

专利文献4：日本特开2010-100674号公报

专利文献5：日本特开2013-157228号公报

专利文献6：日本特开2011-111596号公报

发明内容

发明要解决的课题

使用专利文献1～4中记载的那样的聚酰亚胺树脂来形成透明基板时，CTE显示出50ppm/℃以上的较大值。若使用这样的聚酰亚胺树脂来制作TFT或滤色片，则有在基板上产生翘曲、对位精度差，难以制作高精细的显示器这样的问题。

此外，使用这样的聚酰亚胺树脂制作有机EL元件时，通常在聚酰亚胺上形成硅的氧化物或氮化物作为气体阻隔膜。一般而言，硅氧化物、氮化物的CTE低至3.5ppm/℃左右。因此，在这样的情况下，除了上述的问题以外，还存在下述问题：聚酰亚胺树脂与气体阻隔膜的CTE之差会导致在之后的加热工序中气体阻隔膜易于产生裂纹或褶皱、有机EL元件易于发生劣化。

进而，在专利文献5中记载的那样的方法中存在下述问题：为了抑制基板的翘曲，在低CTE层上介由粘接层贴附形状保持层的操作是必须的，制造工序变得复杂。

此外，虽然专利文献6中公开了以特定的方法使用特定的酸酐、二胺而得到同时实现了低CTE和低双折射率的聚酰亚胺膜的方法，但存在下述问题：因为单体被限制，所以聚合物设计的自由度稍低。此外，还有下述担忧：虽然将低分子化合物(酰亚胺化剂、脱水催化剂)用于化学酰亚胺化，但这些化合物在制造组件(module)时的加热工艺中会成为脱气的原因，从而产生缺陷。

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供下述的显示器用支承基板：无需进行复杂的操作即可适用于滤色片、有机EL元件等，可制作高精细的显示器，且CTE小、双折射率小、并且具有挠性。

用于解决课题的手段

即，本发明为在包含聚酰亚胺树脂的膜A的至少一面上具有包含聚硅氧烷树脂的膜B的显示器用支承基板，其特征在于：在所述膜B中包含无机氧化物粒子。