[发明专利]压电振子以及压电振动装置

权利要求书

1.一种压电振动装置，具备：

压电振子，该压电振子具备矩形的框部、和被所述矩形的框部包围并且与所述矩形的框部一体形成的振动部，其中，所述框部和所述振动部具有Si层，该Si层是作为简并半导体的n型的Si层，且具有0.5mΩcm以上0.9mΩcm以下的电阻率；

下侧基板，具有被周边部包围的凹部，由Si形成；以及

上侧基板，在与所述下侧基板之间形成振动空间，具有被周边部包围的凹部，并由Si形成。

2.根据权利要求1所述的压电振动装置，其中，

所述振动部具有被形成在所述Si层上的压电薄膜。

3.根据权利要求2所述的压电振动装置，其中，

所述振动部还具有氧化硅层，该氧化硅层被形成在所述Si层的上表面、下表面、以及所述压电薄膜的上表面的至少任意一处。

4.根据权利要求3所述的压电振动装置，其中，

所述振动部的简并Si层的厚度为5～20μm，所述氧化硅层的厚度为1μm以下。

5.根据权利要求2所述的压电振动装置，其中，

所述振动部的简并Si层的厚度小于10μm。