[发明专利]窄带化激光装置和对窄带化模块进行定位的方法

说明书

技术领域

本公开涉及窄带化激光装置和对窄带化模块进行定位的方法。

背景技术

伴随半导体集成电路的细微化、高集成化，在半导体曝光装置中要求分辨率的提高。以下将半导体曝光装置简称为“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的短波长化得到发展。在曝光用光源中代替现有的水银灯而使用了气体激光装置。当前，使用输出波长248nm的紫外线的KrF准分子激光装置以及输出波长193nm的紫外线的ArF准分子激光装置，来作为曝光用的气体激光装置。

作为当前的曝光技术，如下的液浸曝光已经实用化：利用液体填满曝光装置侧的投影透镜与晶片间的间隙，通过改变该间隙的折射率而使曝光用光源的表观的波长变短。在使用ArF准分子激光装置作为曝光用光源来进行液浸曝光的情况下，向晶片照射水中的波长134nm的紫外光。将该技术称作ArF液浸曝光。ArF液浸曝光也被称作ArF液浸光刻。

KrF、ArF准分子激光装置的自然振荡中的光谱线宽度宽至大约350～400pm，因此，产生通过曝光装置侧的投影透镜而在晶片上缩小投影的激光(紫外线光)的色像差，分辨率降低。因此，需要使从气体激光装置输出的激光的光谱线宽度窄带化，直到能够无视色像差的程度。光谱线宽度也被称作光谱宽度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内设置有具有窄带化元件的窄带化模块(Line Narrow Module)，通过该窄带化模块而实现了光谱宽度的窄带化。另外，窄带化元件可以是标准具或光栅等。将这样使光谱宽度窄带化的激光装置称作窄带化激光装置。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】美国专利第7653112号说明书

【专利文献2】日本特开2006-019365号公报

【专利文献3】日本特开昭62-076582号公报

【专利文献4】日本特开平08-018143号公报

【专利文献5】美国专利申请公开第2013/0208744号说明书

【专利文献6】日本特表2008-522439号公报

【专利文献7】日本特开2003-174221号公报

【专利文献8】美国专利申请公开第2003/0072347号说明书

【专利文献9】日本特开平06-120587号公报

发明内容

本公开的1个观点的窄带化激光装置可以具有：激光腔室；窄带化模块，其包含光栅，使从激光腔室输出的激光窄带化而返回到激光腔室；壳体，其收容窄带化模块；3个安装件，它们被固定在壳体上；以及壳体移动装置，其通过分别支承3个安装件来支承壳体和窄带化模块，并且，使壳体相对于激光腔室在与光栅的分散面大致垂直的方向上移动，从而使窄带化模块移动。

本公开的其他的1个观点的窄带化激光装置可以具有：激光腔室；窄带化模块，其包含光栅，使从激光腔室输出的激光窄带化而返回到激光腔室；壳体，其收容窄带化模块；壳体移动装置，其使壳体相对于激光腔室在与光栅的分散面大致垂直的方向上移动，从而使窄带化模块移动；以及光栅移动装置，其在壳体的内部，使光栅相对于壳体在与光栅的分散面大致垂直的方向上移动。

本公开的另1个观点的对窄带化模块进行定位的方法，可以使用如下部件相对于激光腔室对壳体进行定位：激光腔室；窄带化模块，其包含光栅，使从激光腔室输出的激光窄带化而返回到激光腔室；壳体，其收容窄带化模块；壳体移动装置，其构成为支承壳体，并且能够使壳体在与光栅的分散面大致垂直的方向上移动；保持装置，其相对于激光腔室对壳体进行定位并保持该壳体；第1移动机构，其使壳体移动装置相对于保持装置在与壳体移动装置移动壳体的移动方向交叉的方向上移动；台车，其构成为能够保持并运送支承壳体的壳体移动装置；以及第2移动机构，其使支承壳体的壳体移动装置相对于台车在与壳体移动装置移动窄带化模块的移动方向交叉的方向上移动。可以是，通过台车保持支承壳体的壳体移动装置，将其运送到保持装置的附近，将第2移动机构与第1移动机构连接，通过第2移动机构和第1移动机构使支承壳体的壳体移动装置移动到保持装置，通过保持装置相对于激光腔室对壳体进行定位并保持该壳体，通过第1移动机构从壳体和保持装置去除壳体移动装置。

附图说明

下面参照附图，仅举例对本公开的几个实施方式进行说明。

图1A示意性地示出第1实施方式的激光装置的结构。

图1B示意性地示出第1实施方式的激光装置的结构。

图2A示出第1实施方式中的光栅移动装置的结构和动作。

图2B示出第1实施方式中的光栅移动装置的结构和动作。