[发明专利]激光模块有效
申请号: | 201580054379.7 | 申请日: | 2015-08-05 |
公开(公告)号: | CN106797102B | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 本藤拓磨;吉田隆幸;上田直人;大森弘治 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 齐秀凤 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 模块 | ||
本公开所涉及的激光模块具有激光二极管、第1准直透镜和旋光器。激光二极管具有多个发射器,在发光面从多个发射器分别射出激光。第1准直透镜设置为与激光二极管的发光面相距第1距离,使激光在快轴方向上的扩展平行化。旋光器设置为与第1准直透镜相距第2距离,使激光扭转约90度。此外,发光面中的多个发射器各自的宽度为5μm~120μm。此外,发光面中的多个发射器的间距为295μm~305μm。
技术领域
本公开涉及激光模块,尤其涉及搭载了形成有多个发射器的激光二极管的激光模块。
背景技术
近年来,在激光切断、激光焊接这样的激光加工的领域中,对于利用了激光二极管的激光模块而要求以高输出来输出高射束质量的激光。
利用图26来说明专利文献1所记载的以往的激光发射器模块900。图26是以往的激光发射器模块900的立体图。
如图26所示,以往的激光发射器模块900包括具有5个发射器901的激光发射器棒902、散热器903、散热器隔离件904、快轴准直仪905、棱镜构件906、以及射束调节光学构件907。激光发射器棒902被固定在散热器903之上,散热器903被固定在散热器隔离件904之上。此外,快轴准直仪905以及射束调节光学构件907被固定于散热器隔离件904之上所固定的棱镜构件906。
快轴准直仪905在快轴方向上对从发射器901输出的激光进行校准。此外,作为射束调节光学构件907,例如利用旋光器(beam twister),使所入射的激光旋转约90度后射出。
由此,能够在激光的扩展角大的快轴方向上,通过快轴准直仪905在快轴方向上对激光进行校准,使激光旋转90度以使得快轴和慢轴交替。然后,在激光的扩展角比较小的慢轴方向上,通过慢轴准直仪(未图示)在慢轴方向上对激光进行校准,从而完成激光的准直。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2014-95916号公报
发明内容
以往的激光发射器模块900的发射器901在宽度为约50微米~300微米、空腔长为约0.5mm~约5mm这样的宽范围内进行规定,关于发射器901的间距(配置间隔)并未记载。但是,由于激光的输出以及射束质量对发射器的宽度以及间距有较大影响,因此为了从1个激光发射器棒高射束质量地获得高输出的激光,仅仅是这种宽范围的公开,将无法以高输出获得高射束质量的激光。
为了解决上述问题,本公开所涉及的激光模块具有激光二极管、第1准直透镜和旋光器。激光二极管具有多个发射器,在发光面从多个发射器分别射出激光。第1准直透镜设置为与激光二极管的发光面相距第1距离,使激光在快轴方向上的扩展平行化。旋光器设置为与第1准直透镜相距第2距离,使激光扭转约90度。此外,发光面中的多个发射器各自的宽度为5μm~120μm。此外,发光面中的多个发射器的间距为295μm~305μm。
如以上,本公开的激光模块通过规定更详细的发射器的宽度和间距,从而能够在激光切断、激光焊接这样的激光加工中以高输出获得高射束质量的激光。
附图说明
图1是表示实施方式中的激光模块1的简要构成的立体图。
图2是实施方式中的激光模块1的水平立体图。
图3是实施方式中的激光模块1的主视图。
图4是图3的虚线处的放大图。
图5是实施方式中的激光模块1的侧视图。
图6是图5的虚线处的放大图。
图7是实施方式中的快速准直透镜50的立体图。
图8是图7的VIII-VIII线处的剖视图。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下知识产权经营株式会社,未经松下知识产权经营株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580054379.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于EUV的自由电子激光器辐射源
- 下一篇:半导体装置