[发明专利]支撑体、粘接片、层叠结构体、半导体装置及印刷布线板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201580055177.4 申请日: 2015-06-12
公开(公告)号: CN106797706B 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 大越雅典;奈良桥弘久;林荣一 申请(专利权)人: 味之素株式会社
主分类号: H05K3/46 分类号: H05K3/46
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 卢曼;李炳爱
地址: 日本东京都*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 支撑 粘接片 层叠 结构 半导体 装置 印刷 布线 制造 方法
【权利要求书】:

1.支撑体,其中,以下述加热条件进行加热时,满足下述的条件(MD1)和条件(TD1),

[加热条件] 从20℃以升温速度8℃/分钟升温至100℃并在100℃加热30分钟后,以升温速度8℃/分钟升温至180℃并在180℃加热30分钟;

[条件(MD1)] 120℃以上的MD方向的最大膨胀系数EMD(%)低于0.2%;

[条件(TD1)] 120℃以上的TD方向的最大膨胀系数ETD(%)低于0.2%。

2.如权利要求1所述的支撑体,其中,满足下述的条件(MD2)和条件(TD2),

[条件(MD2)] 100℃以上的MD方向的最大膨胀系数EMD(%)低于0%;

[条件(TD2)] 100℃以上的TD方向的最大膨胀系数ETD(%)低于0%。

3.支撑体,其中,以下述加热条件进行加热时,满足下述的条件(MD3)和条件(TD3),

[加热条件] 从20℃以升温速度8℃/分钟升温至100℃并在100℃加热30分钟后,以升温速度8℃/分钟升温至180℃并在180℃加热30分钟;

[条件(MD3)] MD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃;

[条件(TD3)] TD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃。

4.支撑体,其中,满足下述的条件(MD4)和条件(TD4),

[条件(MD4)] 支撑体的MD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃;

[条件(TD4)] 支撑体的TD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃。

5.包含支撑体以及与该支撑体接合的树脂组合物层的粘接片,其中,所述支撑体以下述加热条件进行加热时,满足下述的条件(MD1)和条件(TD1),

[加热条件] 从20℃以升温速度8℃/分钟升温至100℃并在100℃加热30分钟后,以升温速度8℃/分钟升温至180℃并在180℃加热30分钟;

[条件(MD1)] 120℃以上的MD方向的最大膨胀系数EMD(%)低于0.2%;

[条件(TD1)] 120℃以上的TD方向的最大膨胀系数ETD(%)低于0.2%。

6.如权利要求5所述的粘接片,其中,所述支撑体满足下述的条件(MD2)和条件(TD2),

[条件(MD2)] 100℃以上的MD方向的最大膨胀系数EMD(%)低于0%;

[条件(TD2)] 100℃以上的TD方向的最大膨胀系数ETD(%)低于0%。

7.包含支撑体以及与该支撑体接合的树脂组合物层的粘接片,其中,所述支撑体以下述加热条件进行加热时,满足下述的条件(MD3)和条件(TD3),

[加热条件] 从20℃以升温速度8℃/分钟升温至100℃并在100℃加热30分钟后,以升温速度8℃/分钟升温至180℃并在180℃加热30分钟;

[条件(MD3)] MD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃;

[条件(TD3)] TD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃。

8.包含支撑体以及与该支撑体接合的树脂组合物层的粘接片,其中,所述支撑体满足下述的条件(MD4)和条件(TD4),

[条件(MD4)] 支撑体的MD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃;

[条件(TD4)] 支撑体的TD方向的膨胀系数达到最大时的温度低于120℃。

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