[发明专利]用于针对汽相沉积法的层厚度测量的装置和方法

权利要求书

1.用于对能借助于汽相沉积法施加到衬底上的层进行层厚度测量的测量系统，所述测量系统具有：

-测量头(30)，所述测量头设有至少一个振动板(50、52)；

-脱耦段(12)，所述脱耦段能够以第一端部(12a)与用于所述汽相沉积法的真空腔(20)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，并且所述脱耦段能够以相对置的第二端部(12b)与所述测量头(30)通过引导气体或引导汽体的方式耦合，

其中，所述脱耦段(12)具有至少一个加热区段(16)或至少一个冷却区段(18)，

其中所述脱耦段(12)具有与它的第二端部(12b)邻接的冷却区段(18)，以及

其中所述脱耦段(12)在所述冷却区段(18)的区域中具有冷阱(28)，所述冷阱具有至少一个能主动冷却的侧壁部区段(27)。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述脱耦段(12)具有与它的第一端部(12a)邻接的加热区段(16)。

3.根据前述权利要求1或2中任一项所述的测量系统，其中所述脱耦段(12)具有在所述真空腔(20)与所述测量头(30)之间延伸的至少一个引导气体或引导汽体的管(14)，所述至少一个引导气体或引导汽体的管在所述加热区段(16)的区域中由加热器(26)围住。

4.根据前述权利要求1或2中任一项所述的测量系统，其中所述冷却区段(18)的能由气体或汽体穿流的内横截面大于所述加热区段(16)的能由气体或汽体穿流的内横截面。

5.根据前述权利要求1或2中任一项所述的测量系统，其中所述冷却区段(18)和所述加热区段(16)沿所述脱耦段(12)的纵向方向彼此分开。

6.根据前述权利要求1或2中任一项所述的测量系统，其中所述加热区段的至少一个加热功率或所述冷却区段(18)的至少一个冷却功率能够调节。

7.根据前述权利要求1或2中任一项所述的测量系统，其中所述加热区段(16)占据所述脱耦段(12)的总长度的至少50％至90％。

8.根据前述权利要求1或2中任一项所述的测量系统，其中所述冷却区段占据所述脱耦段(12)的总长度的最高10％至50％。

9.根据前述权利要求1或2中任一项所述的测量系统，其中所述测量头(30)具有至少两个振动板(50、52)，所述至少两个振动板布置在能转动的承载件(32)上并且能够以可选方式置入到所述测量头(30)的壳体开口(36)的区域中，所述壳体开口(36)布置在所述脱耦段(12)的第二端部(12b)的延长部中。

10.根据权利要求9所述的测量系统，其中密封插入件(40)插入到所述测量头(30)的壳体(34)的壳体开口(36)中，并且其中所述密封插入件(40)能够在所述壳体(34)的内部中密封式地与所述承载件(32)贴靠。

11.用于对能借助于汽相沉积施加到衬底(24)上的层进行层厚度测量的方法，所述方法应用根据前述权利要求中任一项所述的测量系统，所述方法具有如下步骤：

-使材料汽体从所述真空腔(20)脱耦，并将脱耦的材料汽体导入到所述脱耦段(12)中；

-所述脱耦段(12)的至少一个加热或冷却区段(16、18)的主动加热或冷却；

-借助于至少一个振动板(50、52)来测量所述脱耦段(12)的背离所述真空腔(20)的端部(12b)上的汽相沉积率。